[发明专利]晶粒转塔式取放装置

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路芯片处理技术领域，特别是一种晶粒转塔式取放装置。

背景技术

集成电路芯片的晶粒加工完成后，要进行检测、分类等一系列操作，这就要求将每个晶粒进行取放，早先的取放装置大多是直线式或者摆臂式的。由于其结构限制，要想实现高速多工位检测分选是非常困难的。对于直线式结构来说，虽然可以实现多个工位检测分选，但是不能实现同时检测分选，这样就非常浪费时间，使得机台的效率大大降低。而且直线结构的吸嘴需要同时移动，这就要求设置很多能够单独在垂直方向运动的吸嘴才能满足一定的效率，这样就会加大机械结构的复杂度，相对应的也会增加动力源的功率，同时也增加了机机故障概率。对于摆臂式结构，也存在不能实现同时检测检测分选的问题，而且摆臂一般是悬臂结构，要求臂长尽量短，这样的话，能给出的多工位空间有限。

针对以上不足，近年来出现了转塔式取放装置，很好的解决了以上的问题，但是现有的转塔式取放装置基本上都是将垂直运动的动力头和吸嘴一起装在转动部分，这样转动部分就含有电气元件，需要接入电源线和信号线以及气路，这就必须配置一套导电滑环和一套旋转切换的气路。而目前技术中的导电滑环很难保证在高速取放情况下的可靠性，经常会发生断电现象同时造成一些破坏性的损失，而且多个独立的动力头成本较高。

发明内容

本发明的目的是为了解决上述技术问题，提供一种晶粒转塔式取放装置，以期通过分离式垂直运动动力头使电气部分与旋转部件分离，实现高速安全的取放晶粒过程。

本发明采取的技术方案是：

一种晶粒转塔式取放装置，包括吸嘴机构和垂直动力机构，所述吸嘴机构可以实现下压和提升动作，其特征是，所述取放装置还包括支架和转盘，所述转盘设置在所述支架的悬臂梁下，所述转盘上设有多个转臂，每个转臂上设置一个所述吸嘴机构，所述转盘由一个力矩电机提供旋转动力，在所述转盘上方设置一个旋转气接头，每个所述吸嘴机构通过一根气管连接至所述旋转气接头，所述转盘在所述多个转臂的旋转位置上设置多个工位，每个工位与每个转臂相对应，在所述多个工位的至少两个工位上设置所述垂直动力机构。

进一步，垂直动力机构包括固定设置在所述悬臂梁下方的安装板，在所述安装板上通过伸缩孔安装伸缩臂，所述伸缩臂的下端位于所述安装板的下方，所述伸缩臂的下端设有上撞头，所述上撞头位于所述吸嘴机构的上方，所述伸缩臂的上端位于所述安装板的上方，所述伸缩臂的上端与所述安装板之间设有压缩弹簧，所述安装板上安装有凸轮，所述凸轮由伺服电机提供动力，所述凸轮与所述伸缩臂的上端相配合，当所述凸轮的近心端与所述伸缩臂的上端配合时，所述压缩弹簧使所述伸缩臂的下端提升，当所述凸轮的远心端与所述伸缩臂的上配合时，所述凸轮使所述伸缩臂的下端下压。

进一步，所述吸嘴机构包括吸嘴支板、吸嘴、吸嘴杆、导向杆和连接板，所述吸嘴设置在所述吸嘴杆的下端，所述吸嘴杆和所述导向杆可上下移动式设置在所述吸嘴支板上，所述导向杆与所述吸嘴杆的上部之间通过所述连接板连接，在所述连接板和吸嘴支架之间安装有压缩弹簧，当所述连接板被压下时，所述吸嘴被下压，当所述连接板被释放时，所述压缩弹簧将所述连接板抬起使所述吸嘴被提升。

进一步，所述连接板上设有下撞头，所述下撞头的位置对应于所述伸缩臂的上撞头的位置。

进一步，所述转臂的数量为2至8个。

进一步，所述吸嘴与所述吸嘴杆之间设置缓冲弹簧。

进一步，所述多个工位包括吸取工位、检测工位、正品放置工位、废品丢弃工位、备用工位。

本发明的有益效果是：

将垂直运动的动力头和吸嘴机构分离，只在需要垂直运动的工位布置垂直运动的动力头，同时保留有气路部分。这样既省去了导电环结构，又节省了成本，使得机器可以根据工位需要灵活配置。

附图说明

附图1为本发明的结构示意图；

附图2为吸嘴机构的结构示意图；

附图3为垂直动力机构的立体结构示意图。

附图中的标记分别为：

1．悬臂梁；                 2．支架；

3．转盘；                   4．力矩电机；

5．转臂；                  6．吸嘴机构；

61．吸嘴支板；              62．吸嘴；

63．吸嘴杆；                64．导向杆；

65．连接板；                66．压缩弹簧；