[发明专利]振动片、振动片的制造方法、角速度传感器、电子设备、移动体

权利要求书

1.一种振动片，其特征在于，具备：

基部；

振动臂，其从所述基部起进行延伸；

驱动部以及检测部，其被设置在所述振动臂上；

调节臂，其以与所述振动臂并行的方式从所述基部起进行延伸；

调节部，其被设置在所述调节臂的主面上，

所述调节部具有第一电极、第二电极以及被设置在所述第一电极与所述第二电极之间的压电体层，

所述调节臂的输出信号相对于在所述振动臂上未施加有角速度时从所述检测部输出的信号为反相。

2.如权利要求1所述的振动片，其特征在于，

在所述检测部的与所述基部为相反侧的顶端部处，于与所述驱动部相比靠顶端侧设置有，与所述检测部的其他部分相比面积较大的大宽度部。

3.如权利要求1所述的振动片，其特征在于，

所述调节臂的长度短于所述振动臂的长度。

4.如权利要求1所述的振动片，其特征在于，

所述调节部在所述调节臂的宽度方向上分支，且在长度方向上延伸设置。

5.如权利要求1至权利要求3中任一项所述的振动片，其特征在于，

所述调节部具有共通部和多个分支部，所述共通部沿着所述调节臂的延伸方向设置，所述多个分支部从所述共通部起向所述调节臂的宽度方向两侧分支，且在所述延伸方向上配置。

6.如权利要求5所述的振动片，其特征在于，

所述多个分支部中，与所述共通部侧相比，宽度方向顶端侧宽度较宽。

7.如权利要求1所述的振动片，其特征在于，

在所述调节臂中，在顶端部上设置有锤部，在所述基部侧设置有调节部。

8.一种振动片的制造方法，其特征在于，包括：

形成基部、振动臂、调节臂和调节部的工序，其中，所述振动臂从所述基部起进行延伸，所述调节臂以与所述振动臂并行的方式从所述基部起进行延伸，所述调节部在所述调节臂的主面上具有第一电极、第二电极以及设置在所述第一电极与所述第二电极之间的压电体层，且在所述调节部中，所述第一电极被设置于所述调节臂的主面侧；

对所述振动臂的泄漏信号进行检测的工序；

在所述泄漏信号的振幅处于目标值的范围外、且处于所设定的可调节值的范围外时，去除或附加所述压电体层的一部分而对所述调节臂的频率进行调节的工序；

在所述泄漏信号的振幅处于所述可调节值的范围内、且处于目标值的范围外时，去除或附加所述第二电极的一部分而对所述调节部中所产生的电荷进行调节的工序。

9.如权利要求8所述的振动片的制造方法，其特征在于，

所述调节部具有共通部和多个分支部，所述共通部沿着所述调节臂的延伸方向设置，所述多个分支部从所述共通部起向宽度方向两侧分支，且在所述延伸方向上配置，

所述振动片的制造方法包括将所述分支部切断的工序。

10.一种角速度传感器，其特征在于，具备：

权利要求1所述的振动片；

电子部件，其包括使所述驱动用振动臂进行驱动的电路、和对来自所述检测部的信号进行检测的电路；

封装件，其对所述振动片以及所述电子部件进行收纳。

11.一种电子设备，其特征在于，

具备权利要求1所述的振动片。

12.一种移动体，其特征在于，

具备权利要求1所述的振动片。