[发明专利]一种用于检测密闭环境温度变化的方法有效
| 申请号： | 201310186172.8 | 申请日： | 2013-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN103308204A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 晏诗恋;林学春;侯玮;于海娟;赵树森;孙伟;李梦龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01K7/16 | 分类号： | G01K7/16 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检测 密闭 环境温度 变化 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种检测密闭环境温度变化的方法，包括如下步骤：
将导电材料沉积在衬底上，用激光加热的方式固化导电材料，即完成了温度传感器的制作；
将所述温度传感器放入所需要探测的密闭环境，根据导电材料电阻率对温度的实时变化规律，通过检测导电材料的电阻变化来得到密闭环境的温度变化。
2.如权利要求1所述的检测密闭环境温度变化的方法，其特征在于，采用直写的方式，将导电材料沉积在衬底表面。
3.如权利要求1所述的检测密闭环境温度变化的方法，其特征在于，衬底为绝缘、不易变形的材料。
4.如权利要求1所述的检测密闭环境温度变化的方法，其特征在于，导电材料的电阻率随温度而变化。
5.如权利要求1所述的检测密闭环境温度变化的方法，其特征在于，利用激光固化导电材料，激光器可为气体激光器、固体激光器、光纤激光器。
6.如权利要求1所述的检测密闭环境温度变化的方法，其特征在于，激光器的输出波长范围为177nm～15000nm。
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