[发明专利]一种功率半导体模块焊接前倒装工艺有效
申请号: | 201310188011.2 | 申请日: | 2013-05-20 |
公开(公告)号: | CN103311133A | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 梁思平;董建平 | 申请(专利权)人: | 临海市志鼎电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/58 |
代理公司: | 台州市方圆专利事务所 33107 | 代理人: | 蔡正保;朱新颖 |
地址: | 317000 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 功率 半导体 模块 焊接 倒装 工艺 | ||
1.一种功率半导体模块焊接前倒装工艺,所述的功率半导体模块包括底板(6)、绝缘片或DBC基片(5)、管芯或芯片(4)、内部互连电极(3)和引出电极(2),其特征在于,该倒装工艺的具体步骤如下:
步骤一、制作一个具有安装槽(1a)并通过安装槽(1a)对功率半导体模块中各部件进行支撑和固定的支架(1);
步骤二、将引出电极(2)放置在支架(1)的安装槽(1a)内并进行定位固定,所述的引出电极(2)包括用于连接外接电路的引出极(2a)和用于与功率半导体模块中其他部件连接的焊接极(2b),其引出极(2a)朝下插入支架(1)的安装槽(1a)中,焊接极(2b)朝上;
步骤三、将内部互连电极(3)放置在引出电极(2)上并由支架(1)进行定位固定,其内部互连电极(3)通过焊接片(7)与引出电极(2)的焊接极(2b)相连;
步骤四、将管芯或芯片(4)放置在内部互连电极(3)上,管芯或芯片(4)通过焊接片(7)和钼片与内部互连电极(3)相连;
步骤五、将绝缘片或DBC基片(5)放置在管芯或芯片(4)上,并通过支架(1)定位固定,其绝缘片或DBC基片(5)通过焊接片(7)与管芯或芯片(4)相连;
步骤六、在绝缘片或DBC基片(5)上放置底板(6),其底板(6)通过焊接片(7)与绝缘片或DBC基片(5)相接,并由支架(1)进行固定、支撑和定位。
2.根据权利要求1所述的功率半导体模块焊接前倒装工艺,其特征在于,在所述步骤一中,所述的支架(1)根据功率半导体模块结构的不同进行制作,用来支撑、固定和定位底板(6)、绝缘片或DBC基片(5)、管芯或芯片(4)、内部互连电极(3)和引出电极(2)。
3.根据权利要求1或2所述的功率半导体模块焊接前倒装工艺,其特征在于,在所述步骤一中,所述支架(1)上设置的安装槽(1a)为两边对称的阶梯型结构,其阶梯型结构共有四个阶层,两边阶梯型结构的第一阶层相连接形成一个凹槽,所述的四个阶层分别用于定位和支撑功率半导体模块中的各部件。
4.根据权利要求3所述的功率半导体模块焊接前倒装工艺,其特征在于,在所述步骤二中,所述的引出电极(2)设置有若干个,所述的引出电极(2)插入上述凹槽内,引出电极(2)的长度高于凹槽。
5.根据权利要求1所述的功率半导体模块焊接前倒装工艺,其特征在于,在所述步骤三中,所述的内部互连电极(3)放置在安装槽(1a)的第二阶层上,所述的内部互连电极(3)包括若干个电极(3b)和连接部(3a),所述的若干个电极(3b)通过两边成直角的连接条(3c)与连接部(3a)连接,若干个电极(3b)以连接部(3a)为轴两两对称,连接部(3a)与其连接部(3a)两边连接的连接条(3c)的一条直角边形成一个门的形状并可套接于高于凹槽的引出电极(2)上,其第二阶层的高度等于在电极(3b)上放置了管芯或芯片(4)后的高度。
6.根据权利要求1所述的功率半导体模块焊接前倒装工艺,其特征在于,在所述步骤四中,在放置管芯或芯片(4)前先在内部互连电极(3)的电极(3b)上放置钼片,再放置焊接片(7)后进行放置。
7.根据权利要求1或6所述的功率半导体模块焊接前倒装工艺,其特征在于,在所述步骤四中,在内部互连电极(3)上可放置多个管芯或芯片(4)。
8.根据权利要求1所述的功率半导体模块焊接前倒装工艺,其特征在于,在所述步骤五中,所述的绝缘片或DBC基片(5)放置在安装槽(1a)的第三阶层上并通过第三阶层进行定位和支撑。
9.根据权利要求1或8所述的功率半导体模块焊接前倒装工艺,其特征在于,在所述步骤五中,所述的DBC基片包括铜箔图形面和非铜箔图形面,在进行放置时,其铜箔图形面朝下,通过焊接片(7)与管芯或芯片(4)相连,非铜箔图形面朝上,通过焊接片(7)与底板(6)相连。
10.根据权利要求1所述的功率半导体模块焊接前倒装工艺,其特征在于,其特征在于,在所述步骤六中,所述的底板(6)放置在安装槽(1a)的第四阶层上并通过第四阶层进行定位和支撑。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造