[发明专利]一种硅片RIE制绒后的处理方法

权利要求书

1.一种硅片RIE制绒后的处理方法，其中，包括如下步骤：

a）对RIE制绒后的硅片进行水洗；

b）采用第一酸性溶液对所述硅片进行第一次酸性清洗；

c）对所述硅片进行水洗；

d）采用第二酸性溶液对所述硅片进行第二次酸性清洗；

e）对所述硅片进行水洗；

h）对所述硅片进行烘干和/或甩干。

2.根据权利要求1所述的处理方法，其中，在所述步骤e）和所述步骤h）之间，还包括执行以下步骤：

f）对所述硅片进行喷淋；

g）对所述硅片进行热水慢拉。

3.根据权利要求1或2所述的处理方法，其中，所述步骤a）、c）和e）中均采用去离子水对所述硅片进行水洗；

所述步骤f）中，采用去离子水对所述硅片进行喷淋。

4.根据权利要求1或2所述的处理方法，其中，

所述第一酸性溶液为氢氟酸；

所述第二酸性溶液为盐酸。

5.根据权利要求1或2所述的处理方法，其中，

所述第一酸性溶液为盐酸；

所述第二酸性溶液为氢氟酸。

6.根据权利要求4或5所述的处理方法，其中，

所述氢氟酸的浓度范围为：1%～10%；

所述盐酸的浓度范围为：1%～10%。

7.根据权利要求2所述的处理方法，其中，所述热水慢拉工艺中，热水的温度最低为50℃。

8.根据权利要求2所述的处理方法，其中，所述步骤g）热水慢拉工艺中，所述硅片在槽体热水中浸没的时间为20s～40s。

9.根据权利要求2所述的处理方法，其中，所述步骤g）热水慢拉工艺中，所述硅片拉起的时间范围为30s～60s。

10.根据权利要求2所述的处理方法，其中，所述步骤g）热水慢拉工艺中，所述硅片拉起的过程中对所述硅片持续吹热风。