[发明专利]一种X射线光谱仪

权利要求书

1.一种X射线光谱仪，其特征在于，包括：

X射线产生系统：包括用于激发样品中X射线的X射线管、用于提供所述X射线管电源的高压电源以及用于冷却所述X射线管的冷却装置；

分光装置系统：包括用于承载样品和抽真空的真空系统测量室以及与所述真空系统测量室外部连接的分光器，所述真空系统测量室包括用于承载样品的载物台和将所述样品发射出的X射线分类的分光室，所述分光器用于将从所述分光室中发射出的X射线再次分光；

信号采集处理系统：用于接收所述分光器发出的X射线将其转化为电信号，将所述电信号放大，并将所述放大的电信号的数据进行采集和处理，包括用于探测所述分光器的计数管、用于将所述电信号放大的前置放大器以及数据处理系统；

监控系统：用于实时智能的监控所述真空系统和所述X射线产生系统；

PC机控制系统：用于将所述信号采集处理系统得到的数据进行数据运算处理。

2.如权利要求1所述的X射线光谱仪，其特征在于，所述X射线管为上照射式或下照射式。

3.如权利要求1所述的X射线光谱仪，其特征在于，所述高压电源与所述X射线管通过高压电缆线连接。

4.如权利要求1所述的X射线光谱仪，其特征在于，还包括与所述真空系统测量室连接的进出样系统和样品自旋系统。

5.如权利要求1所述的X射线光谱仪，其特征在于，所述计数管为封闭计数管、流气正比计数管或闪烁计数管中的一种。

6.如权利要求1所述的X射线光谱仪，其特征在于，所述数据采集处理系统处理完的数据通过USB接口传送到PC机控制系统。

7.如权利要求1所述的X射线光谱仪，其特征在于，所述数据采集处理系统包括二十路数据采集通道、高速A/D采样模块和数据处理运算CPU。

8.如权利要求1所述的X射线光谱仪，其特征在于，还包括反馈系统，所述反馈系统包括显示装置和报警系统。

9.如权利要求1所述的X射线光谱仪，其特征在于，还包括设备装置，其包括键盘、鼠标和打印机。