[发明专利]利用受控的固体形态学的流体的基于固体前体的传送

权利要求书

1.一种结硬的来源试剂材料，其适合于被蒸发以产生试剂蒸汽，所述结硬的来源试剂材料包含经历热处理的来源试剂材料的物质，所述热处理将一部分所述来源试剂材料的物质熔合成结硬部分，该结硬部分具有与所述来源试剂材料的非熔合部分相比形态学不同的特征，其中所述结硬部分覆盖所述来源试剂材料的内部部分，该内部部分包括所述来源试剂材料的非熔合部分。

2.根据权利要求1所述的结硬的来源试剂材料，其中所述结硬的来源试剂材料是通过如下方式形成的：将所述来源试剂材料的物质在容纳于汽化器容器的封闭的内部空间中的托盘内加热，以将所述来源试剂材料的物质的所述部分熔合成结硬部分，该结硬部分具有与所述来源试剂材料的非熔合部分相比形态学不同的特征。

3.根据权利要求1所述的结硬的来源试剂材料，其中所述来源试剂材料包含选自如下的材料：二甲基联氨、三甲基铝（TMA）、四氯化铪（HfCl₄）、四氯化锆（ZrCl₄）、三氯化铟、单氯化铟、三氯化铝、碘化钛、羰化钨、Ba(DPM)₂、双(四甲基庚二酮)锶（Sr(DPM)₂）、TiO(DPM)₂、四(四甲基庚二酮)锆（Zr(DPM)₄）、十硼烷、十八硼烷、硼、镁、镓、铟、锑、铜、磷、砷、锂、四氟硼酸钠、并有烷基-脒基配位体之前体、有机金属前体、叔丁基醇锆（Zr(t-OBu)₄）、四(二乙基胺基)锆（Zr(Net₂)₄）、四(二乙基胺基)铪（Hf(Net₂)₄）、四(二甲基胺基)钛（TDMAT）、叔丁基亚胺基三(二乙基胺基)钽（TBTDET）、五(二甲基胺基)钽（PDMAT）、五(乙基甲基胺基)钽（PEMAT）、四(二甲基胺基)锆（Zr(NMe₂)₄）、四(叔丁基醇)铪（Hf(tOBu)₄）、二氯化氙（XeF₂）、四氟化氙（XeF₄）、六氟化氙（XeF₆）、金属有机β-二酮基配合物、六氟化钨、环戊二烯基环庚三烯基-钛（C_pTiCht）、环辛四烯基-环戊二烯基钛、双环戊二烯基二叠氮钛、三甲基镓、三甲基铟、烷基铝、三甲基铝、三乙基铝、三甲基胺艾伦试剂、二甲基锌、四甲基锡、三甲基锑、二乙基镉、羰化钨、金属卤化物、镓卤化物、铟卤化物、锑卤化物、砷卤化物、碘化铝、碘化钛、金属有机配合物、In(CH₃)₂(hfac)、二溴甲基锑化氢、羰化钨、金属有机醇氧配合物、金属有机羰酸配合物、金属有机芳香基配合物及金属有机酰胺基配合物、及前述二或二者以上之相容组合物及混合物。

4.根据权利要求1所述的结硬的来源试剂材料，其在如下汽化器中，该汽化器包含汽化器容器，该汽化器容器定义至少一埠、定义密闭内体积、具有在所述内体积内的所述结硬的来源试剂材料、和包括在所述内体积内的内部结构，该内部结构与所述结硬的来源试剂材料接触并与所述汽化器容器接触，其中所述内部结构包括如下中的一个或多个：

（a）多个隔间，该隔间被构造用于容纳所述结硬的来源试剂材料；

（b）多个突出物，该突出物起到延伸的表面热交换元件的作用，该延伸的表面热交换元件被构造用于与所述结硬的来源试剂材料热接触；和

（c）用于包含或呈现所述结硬的来源试剂材料的筛网或毛织物）；

其中所述结硬的来源试剂材料的外结硬部分具有与被所述外结硬部分覆盖的内部部分相比形态学不同的特征，和其中所述结硬的来源试剂材料可加热以产生来源试剂蒸气，以在所述汽化器容器的分配操作中从该汽化器容器中排出。

5.一种汽化器，其包含适于容纳来源试剂的汽化器容器，所述汽化器适于用来加热所述汽化器容器及其中的来源试剂，以产生来源于所述来源试剂的蒸气，所述容器定义封闭的内体积并具有至少一个埠，从而来源于所述来源试剂的蒸气可从所述容器的内体积中排出，所述汽化器在所述内体积内包含至少一个突出元件，其适于接触内体积内的来源试剂，其中所述来源试剂包含单块型多孔性固体来源试剂体。

6.提供用于蒸发的来源试剂的方法，其用于在流体利用工艺中使用，所述方法包括提供所述来源试剂，该来源试剂为单块型多孔性固体来源试剂体的形式，其用于在根据权利要求5所述的汽化器中使用。