[发明专利]超大束宽薄光束气体激光器

权利要求书

1.在超大束宽薄光束气体激光器，其特征在于包括具有超宽平板一维平凹谐振腔构成的气体激光器，所述的超宽平板一维平凹谐振腔由超宽平板放电管（12）以及（12）底部贴的凹面长柱面全反镜（1）和（12）顶部贴的长条形平面部分输出镜（2）构成，在激光器沿放电管轴线的任一剖面内，全反镜（1）的纵剖面以及输出镜（2）的纵剖面构成平凹腔，该平凹腔设计为稳定腔，为该超宽谐振腔的子腔，该子腔沿垂直于该子腔所在平面的方向一维滑动形成超宽平板一维平凹谐振腔。

2.根据权利要求1所述的超大束宽薄光束气体激光器，其特征在于所述激光器输出的光束横向方正、超宽，纵向较薄、发散角小。

3.根据权利要求1所述的超大束宽薄光束气体激光器，包括凹面长柱面全反镜（1），长条形平面部分输出镜（2），上管壁（3）、下管壁（3′）、前管壁（5）、后管壁（5′）构成超宽平板放电管（12），凹面长柱面全反镜（1）与超宽平板放电管（12）的底部连接，长条形平面部分输出镜（2）与超宽平板放电管（12）的顶部连接，上电极与放电管（12）的上管壁（3）内侧紧贴或由上管壁（3）直接为上电极(当为金属材料时)，下电极与放电管（12）的下管壁（3′）内侧紧贴或由下管壁（3′）直接为下电极(当为金属材料时)，储气管（9）与放电管（12）相连接并环绕放电管（12），水冷套（8）环绕放电管（12），水冷套（7）环绕全反镜（1），水冷套（10）环绕输出镜（2），风机通过储气管（9）与放电管（12）连接，射频电源及匹配网络（0）与上、下电极连接，其特征在于放电管（12）是一个超宽平板放电管，它的顶部和底部分别与长条形平面部分输出镜（2）和凹面长柱面全反镜（1）真空性封贴，使超宽夹层空间能抽高真空，在高真空条件下将氦氖或二氧化碳、氮、氦混合气充入放电管（12）。