[发明专利]由激活循环控制电化学性质的氧化铱微电极的制备方法

权利要求书

1.一种由激活循环控制电化学性质的氧化铱微电极的制备方法，其特征在于，所述方法利用溅射得到的铱微电极阵列电化学激活为氧化铱，工作电解质为生理盐水，激活方法为工作电极电压在-1V到+1V扫描，扫描速度为100mV/s，扫描一次为一个循环次数。

2.根据权利要求1所述的氧化铱微电极的制备方法，其特征在于，所述铱微电极阵列的具体制备过程如下：

首先在Si片上甩5μm的正胶并图形化，溅射钛种子层，100-1000埃，再溅射金属铱300纳米，采用Lift-off工艺去光刻胶，图形化种子层与铱金属层构成电极；

然后再沉积5μm的聚氯代对二甲苯膜，第二次把光刻胶图形化，使用反应离子刻蚀把聚氯代对二甲苯膜刻穿，露出电极点，构成微电极阵列覆盖层；这样就制备好了铱微电极阵列；

在下一步进行电化学激活氧化铱微电极阵列之前，铱微电极阵列必须经过丙酮、酒精、去离子水分别10分钟的超声清洗。

3.根据权利要求1或2所述的氧化铱微电极的制备方法，其特征在于，所述电化学激活的工作电解质为生理盐水，激活方法为工作电极电压在-1V到+1V扫描，扫描速度为100mV/s，扫描一次为一个循环次数，即20秒为一个循环的时间；参比电极为Ag/AgCl电极，对电极为铂片电极。

4.根据权利要求3所述的氧化铱微电极的制备方法，其特征在于，所述由电化学激活的氧化铱微电极的电荷存储能力在电化学激活前后的范围为1.69-40.07mC/cm²。

5.根据权利要求4所述的氧化铱微电极的制备方法，其特征在于，所述由电化学激活的氧化铱微电极的电荷存储能力在开始的100次激活循环中的控制方法为y=0.08615x+1.9873，x为循环次数，y为电荷存储能力；

所述由电化学激活的氧化铱微电极的电荷存储能力在第100次到第200次激活循环中的控制方法为y=0.07792x+3.082，x为循环次数，y为电荷存储能力；

所述由电化学激活的氧化铱微电极的电荷存储能力在第200次到第500次激活循环中的控制方法为y=0.07439x+3.298，x为循环次数，y为电荷存储能力。

6.根据权利要求4所述的氧化铱微电极的制备方法，其特征在于，所述由电化学激活的氧化铱微电极的氧化还原峰间距的控制方法为y=0.6541+0.00189x-8.875×10^-6x²+2.1126×10^-8x³-1.827×10^-11x⁴，x为循环次数，y为氧化还原峰间距；

所述由电化学激活的氧化铱微电极的1kHz阻抗幅值的控制方法为y=-3291×0.9790^x+4321，x为循环次数，y为1kHz阻抗幅值；

所述由电化学激活的氧化铱微电极的1kHz阻抗相角的控制方法为y=-8.609-59.57×0.9611^x，x为循环次数，y为1kHz阻抗相角。

7.根据权利要求4-6任一项所述的氧化铱微电极的制备方法，其特征在于，所述由电化学激活的氧化铱微电极的双电层电容的控制方法为y=2.962×10^-9x+6.531×10^-8，x为循环次数，y为双电层电容。

8.根据权利要求4-6任一项所述的氧化铱微电极的制备方法，其特征在于，所述由电化学激活的氧化铱微电极的容性最大点的控制方法为y=-87.10+11.24×0.9487^x，x为循环次数，y为容性最大点。

9.根据权利要求4-6任一项所述的氧化铱微电极的制备方法，其特征在于，所述由电化学激活的氧化铱微电极的阻性最大点的控制方法为y=-6.629-16.22×0.9842^x，x为循环次数，y为阻性最大点。