[发明专利]一种检测光伏型碲镉汞红外探测器电极质量的方法

权利要求书

1.一种检测光伏型碲镉汞红外探测器电极质量的方法，其特征在于，采用超快脉冲激光照射光伏型碲镉汞薄膜探测器，探测器输出信号呈现脉冲形式的光伏响应信号，数字存储示波器采集并储存光伏信号，探测器光伏响应信号为一个峰值时，为欧姆电极；当探测器光伏响应信号存在两个峰值时，判断电极界面存在肖特基接触，第一个光伏峰值由电极界面肖特基接触形成，第二个光伏峰值由pn结形成，分别计算肖特基接触形成和pn结形成的脉冲光伏的峰值，判断电极质量。

2.根据权利要求1所述检测光伏型碲镉汞红外探测器电极质量的方法，其特征在于，具体包括如下步骤：

1）波长可调谐超快脉冲激光器照射光伏型碲镉汞红外探测器电极，探测器输出信号送数字存储示波器储存光伏信号；

2）当探测器光伏响应信号存在两个峰值时，判断电极界面存在肖特基接触，电极界面肖特基接触形成的光伏较pn结形成的光伏在时域维度上率先出现，先出现的光伏峰值由电极界面肖特基接触形成，随后出现的光伏峰值由pn结形成；

3）采用双脉冲函数方程：

拟合探测器的脉冲光伏信号，计算肖特基接触形成的脉冲光伏的ΔV_schottky、上升时间τ₁、下降时间τ₂，以及pn结形成的脉冲光伏的ΔV_pn、上升时间和下降时间；

4）通过公式计算肖特基接触形成的脉冲光伏的峰值，通过公式计算pn结内建电场形成的脉冲光伏的峰值；

5）根据计算到的肖特基接触形成的脉冲光伏的峰值大小，判断金属光伏型碲镉汞电极界面肖特基势垒效应的严重程度；

6）根据实验测量到的探测器脉冲光伏信号，获取探测器的有效光伏峰值V_effect-peak；

7）通过计算方程，评估电极界面肖特基接触影响探测器光电响应的程度。