[发明专利]一种用于物镜镜片调节的手动微调机构有效
申请号: | 201310192727.X | 申请日: | 2013-05-22 |
公开(公告)号: | CN104181665B | 公开(公告)日: | 2017-03-29 |
发明(设计)人: | 马晓晴;马很很 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G02B7/02 | 分类号: | G02B7/02;G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人: | 屈蘅,李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 物镜 镜片 调节 手动 微调 机构 | ||
1.一种用于物镜镜片调节的手动微调机构,连接镜筒和镜组;调节所述镜筒和镜组的相对位置,其特征在于,包括三个均布于所述镜筒圆周上的调节组件,所述调节组件包括上螺杆、下螺杆和固定座,所述上螺杆和下螺杆上分别设有第一外螺纹和第二外螺纹,所述固定座上设有与所述第一外螺纹相匹配的第一内螺纹,所述固定座固定于所述镜筒上;所述镜组上设有与所述第二外螺纹相匹配的第二内螺纹,所述第一外螺纹与第二外螺纹螺距不同,所述上螺杆和下螺杆之间柔性连接。
2.如权利要求1所述的用于物镜镜片调节的手动微调机构,其特征在于,所述上螺杆和下螺杆通过柔性部件连接,所述柔性部件在X向和Y向为柔性,Z向为刚性。
3.如权利要求2所述的用于物镜镜片调节的手动微调机构,其特征在于,所述柔性部件外部套有柔性套,所述柔性套在X向和Y向为柔性,Rz方向为刚性。
4.如权利要求3所述的用于物镜镜片调节的手动微调机构,其特征在于,所述柔性套分别通过多个定位销连接于所述上螺杆和下螺杆。
5.如权利要求1所述的用于物镜镜片调节的手动微调机构,其特征在于,所述上螺杆顶端及下螺杆底端分别设有上端锁紧螺母和下端锁紧螺母。
6.如权利要求1所述的用于物镜镜片调节的手动微调机构,其特征在于,还包括三个传感器组件,所述传感器组件分别位于所述镜筒与镜组之间且与所述调节组件相对的位置上。
7.如权利要求1~6中任一项所述的用于物镜镜片调节的手动微调机构,其特征在于,所述上螺杆的顶端设有一内六角孔。
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