[发明专利]一种数字式瑞利干涉仪

权利要求书

1.一种数字式瑞利干涉仪，包括第一透镜（3）、第二透镜（9）、第一补偿器（7）、第二补偿器（8），其特征在于，还包括激光光源（11）、光栅（12）、滤波器（13）、扩束镜（16）、光敏探头（24）和显示装置（25）；所述的第一透镜（3）和第二透镜（9）均为柱透镜；激光光源（11）发出的光经光栅（12）、滤波器（13）分成两束光，并经透镜（3）变成两束平行光，其中一束光经第一补偿器（7），另一束光经第二补偿器（8），然后两束平行光再经透镜（9）汇聚成一个光点，光点经扩束镜（16）扩束，扩束后的光场出现干涉条纹，光敏探头（24）放置在能正确读出干涉条纹数的位置，光敏探头（24）连接显示装置（25）。

2.一种数字式瑞利干涉仪，包括第二透镜（9）、第一补偿器（7）、第二补偿器（8），其特征在于，还包括激光光源（11）、分束器（17）、第一反射镜（18）、第二反射镜（19）、直角棱镜（20）、扩束镜（16）、光敏探头（24）和显示装置（25）；所述的第二透镜（9）为柱透镜；激光光源（11）发出的光经分束器（17）分成两束光，两束光分别经第一反射镜（18）和第二反射镜（19）后，再经直角棱镜（20）变成两束平行光，其中一束光经第一补偿器（7），另一束光经第二补偿器（8），然后两束平行光再经透镜（9）汇聚成一个光点，光点经扩束镜（16）扩束，扩束后的光场出现干涉条纹，光敏探头（24）放置在能正确读出干涉条纹数的位置，光敏探头（24）连接显示装置（25）。

3.如权利要求1或2所述的一种数字式瑞利干涉仪，其特征在于，所述的激光光源（11）是小型半导体激光器。

4.如权利要求1或2所述的一种数字式瑞利干涉仪，其特征在于，所述的光敏探头（24）是光敏电阻、光敏二极管或光敏三极管。

5.如权利要求1或2所述的一种数字式瑞利干涉仪，其特征在于，所述的显示装置（25）是由单片机与显示器构成，或者是计算机。