[发明专利]半导体材料微区应力测试系统

权利要求书

1.一种半导体材料微区应力测试系统，用于测试样品(S)的微区应力，其特征在于：该系统包括线偏振激光源(1)、光相位调制器(2)、分光器(3)、物镜(4)、载物台(5)、检偏器(6)、斩波器(7)和信号采集系统(8)；其中，

所述线偏振激光源(1)用于产生线偏振激光，并将产生的线偏振激光送到光相位调制器；

所述光相位调制器(2)用于所述线偏振激光在该光相位调制器(2)的主轴和它的垂直方向上产生固定的相位差；

所述载物台(5)用于承载所测试材料的样品，并调节该测试材料样品的位置；

所述分光器(3)用于使经过所述光相位调制器(2)光入射到样品(S)，同时，使由样品(S)的反射光透射，从而将样品(S)的入射光和反射光分开；

检偏器(6)用于接收所述样品(S)的反射光，检测特定方向上光波的振幅；

斩波器(7)用于将光波调制成特定频率的交流信号；

信号采集系统(8)用于接收所述样品(S)的反射光，将其转换为电信号后进行处理，得到样品(S)的微区应力。

2.如权利要求1所述的半导体材料微区应力测试系统，其特征在于：所述信号采集系统(8)包括：

一探测器(81)，用于接收所述样品(S)的反射光，将接收到的光信号转化为电信号；

一第一锁相放大器(82)，用于测量所述斩波器(7)将光波调制成的低频分量；

一第二锁相放大器(83)和一第三锁相放大器(84)，其分别用于测量所述光弹性调制器的一倍频和二倍频分量；

一数据采集卡(85)，用于接收所第一、第二、第三锁相放大器(82，83，84)的输出信号，并把它转化为计算机识别的数字信号。

一计算机(86)，用于接收并存储数据采集卡(85)得到的数据，并对数据采集卡(85)采集到的信号进行运算处理。

3.如权利要求1所述的半导体材料微区应力测试系统，其特征在于：所述线偏振激光源(1)包括激光器和起偏器，所述起偏器用于产生偏振度较高的线偏振光，以便提高激光的偏振度。

4.如权利要求1所述的半导体材料微区应力测试系统，其特征在于：还包括一个图像撷取装置，用于接收从所述检偏器(6)出射的激光，以撷取样品表面的图像。

5.如权利要求4所述的半导体材料微区应力测试系统，其特征在于：还包括一个照明光源，用于对样品表面照明。

6.如权利要求1所述的半导体材料微区应力测试系统，其特征在于：还包括物镜(4)，其位于所间谍分光器(3)和样品(S)之间，样品的入射光经物镜(4)被汇聚在样品(S)上。

7.如权利要求1所述的半导体材料微区应力测试系统，其特征在于：

所述线偏振激光源(1)包括激光光源(11)、空间滤波器(12)和起偏器(13)，从激光光源(11)出射的偏振激光经过所述空间滤波器(12)和所述起偏器(13)。

8.如权利要求7所述的半导体材料微区应力测试系统，其特征在于：所述起偏器(13)和检偏器(6)是方解石制成的格兰泰勒型激光偏振棱镜。

9.如权利要求1所述的半导体材料微区应力测试系统，其特征在于：所述光相位调制器(2)的主轴方向与激光偏振方向相同。