[发明专利]用于液晶显示器的阵列基板及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于液晶显示器的阵列基板及其制造方法。本发明还涉及一种通过在接触孔中形成高度差（level difference）来防止取向膜的有缺陷的涂布并提高显示质量的用于液晶显示器的阵列基板及其制造方法。

背景技术

通常，液晶显示器利用液晶的光学各向异性和偏振特性。液晶具有薄、长结构，并且在液晶分子的取向上具有方向性。可通过将电场施加至液晶来控制液晶分子的取向方向。因此，当调整液晶分子的取向方向时，液晶分子的取向可改变，进而由于液晶的光学各向异性，光在液晶的分子取向方向上被折射，从而显示图像信息。

当前，有源矩阵液晶显示器（AM-LCD）（下文简称LCD）（其中由以矩阵形式布置有薄膜晶体管以及与薄膜晶体管连接的像素电极）由于出色的分辨率和视频实现能力而颇受关注。LCD包括滤色器基板、阵列基板以及填充在滤色器基板与阵列基板之间的液晶，其中在滤色器基板上形成有公共电极，在阵列基板上形成有像素电极。在这种类型的LCD中，公共电极和像素电极通过垂直施加的电场来驱动液晶，从而提供出色的透光率、开口率等。

然而，由垂直施加的电场来驱动液晶的缺点在于视角特性不佳。因此，为了克服这个缺点，已经提出了具有出色视角特性的面内场型液晶显示器。在面内场型液晶显示器中，薄膜晶体管形成在基板上并通过有机绝缘膜绝缘，然后在公共电极与像素电极之间形成钝化膜以便在公共电极与像素电极之间施加垂直电场或水平电场。然而，将薄膜晶体管与像素电极连接的接触孔的深度非常大，因此取向膜可能无法铺展到接触孔中。

图1是用于液晶显示器的传统阵列基板的剖面图。图2a是用于液晶显示器的传统阵列基板的照片，图2b是传统液晶显示器的照片。

参照图1，有机绝缘膜10设置在薄膜晶体管的漏极5上。有机绝缘膜10具有暴露漏极5的接触孔。钝化膜15设置在有机绝缘膜10上，并且像素电极20通过接触孔与漏极5连接。

可使用具有多个喷嘴的喷墨装置来形成取向层30。然而，由于喷墨装置的喷嘴之间的间隔很宽，所以从喷嘴喷出的墨无法广泛地铺展在取向层30上，因此无法填充至接触孔中。因此，将要在基板的整个表面上形成的取向膜30无法铺展到接触孔中，而是保持在接触孔周围。因此，如图2a中所示，当取向膜没有铺展到接触孔中时，在接触孔周围产生暗边缘。此外，如图2b中所示，例如在取向膜30的涂布并未覆盖液晶显示器的整个表面的区域上出现斑点，从而使LCD的显示质量退化。

发明内容

本发明的实施方式致力于提供一种用于液晶显示器的阵列基板及其制造方法，所述阵列基板通过具有高度差的接触孔而提高透光率，并且可解决有关取向膜的未铺展的问题。

在一个方面，提供一种用于液晶显示器的阵列基板，包括：基板；栅极线和公共线，所述栅极线和所述公共线设置在所述基板上；栅极绝缘膜，所述栅极绝缘膜设置在所述栅极线和所述公共线上；半导体层，所述半导体层设置在所述栅极绝缘膜上，并且所述半导体层与所述栅极线面对；源极和漏极，所述源极和所述漏极设置在所述半导体层上；有机绝缘膜，所述有机绝缘膜设置在所述源极和所述漏极上，所述有机绝缘膜包括暴露所述漏极的第一接触孔，并且所述有机绝缘膜具有形成在所述第一接触孔的倾斜表面上的台阶式高度差；公共电极，所述公共电极设置在所述有机绝缘膜上并且与所述公共线连接；钝化膜，所述钝化膜设置在具有所述公共电极的基板上并且通过所述第一接触孔与所述漏极接触；以及像素电极，所述像素电极设置在所述钝化膜上以与所述公共电极相对应，并且所述像素电极与所述漏极接触。

在另一方面，提供一种用于液晶显示器的阵列基板的制造方法，所述方法包括如下步骤：形成基板；在所述基板上形成栅极线和公共线；在所述栅极线和所述公共线上形成栅极绝缘膜；在所述栅极绝缘膜上形成与所述栅极线面对的半导体层；在所述半导体层上形成源极和漏极；在所述源极和所述漏极上形成有机绝缘膜以暴露所述漏极，其中形成所述有机绝缘膜以暴露所述漏极的步骤包括：形成暴露所述漏极的第一接触孔，并且在所述第一接触孔的倾斜表面上形成台阶式高度差；以及在所述有机绝缘膜上形成与所述公共线连接的公共电极；在具有所述公共电极的基板上形成钝化膜，以通过所述第一接触孔与所述漏极接触；以及在所述钝化膜上形成与所述公共电极相对应并且与所述漏极接触的像素电极。

附图说明

被包括在内以给本发明提供进一步理解并结合在本申请中组成本申请一部分的附图图解了本发明的实施方式，并与说明书一起用于说明本发明的原理。在附图中：

图1是用于液晶显示器的传统阵列基板的剖面图；