[发明专利]一种离子氮化炉用堆放阴极输电装置无效

专利信息
申请号: 201310195650.1 申请日: 2013-05-24
公开(公告)号: CN103266296A 公开(公告)日: 2013-08-28
发明(设计)人: 田绍洁;回博阳 申请(专利权)人: 大连经济技术开发区圣洁真空技术开发有限公司
主分类号: C23C8/36 分类号: C23C8/36
代理公司: 大连科技专利代理有限责任公司 21119 代理人: 龙锋
地址: 116600 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 离子 氮化 堆放 阴极 输电 装置
【权利要求书】:

1.一种新型用于离子轰击炉的堆放阴极输电装置,其特征在于安装在离子轰击炉底部。

2..根据权利要求1所述的堆放阴极输电装置,其特征在于在金属内屏蔽套(7)和金属屏蔽套(9)之间形成了一个规定的“气隙保护”层。

3.根据权利要求1所述的堆放阴极输电装置,其特征在于所述堆放阴极输电装置是通过电源线(19),电源线插头(17),阴极杆(4)和导电架(11),把电流传到工件。

4.根据权利要求1所述的堆放阴极输电装置,其特征在于再通过离子轰击炉底部炉壁(1)水冷层固定连接阴极输电导套(2),并在其内轴线方向安装有绝缘座(3),十字阴极导电杆(4),防溅套(5),屏蔽垫(6),金属内屏蔽套(7),空位绝缘垫(8)和金属屏蔽套(9),并用螺帽(10)压紧。

5.在金属内屏蔽套(7)和金属屏蔽套(9)之间形成了一个气隙保护层,并用螺帽(10)将导电架(11)和十字阴极导电杆(4)固定在一起,使导电架(11)与工件或阴极盘相连,再通过阴极导套(2)伸出炉底外部,并在其内安装密封垫(12),内绝缘套(13),垫圈(14)螺母(15)和绝缘板(16),并在十字阴极导电杆(4)的端部安装电源插头(17)和绝缘垫,插入电源线(19),然后用压紧螺母(20)紧固,电流便经过电源线(19),电源线插头(17),阴极杆(4),导电架(11),到达工件。

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