[发明专利]一种离子氮化炉用堆放阴极输电装置无效
申请号: | 201310195650.1 | 申请日: | 2013-05-24 |
公开(公告)号: | CN103266296A | 公开(公告)日: | 2013-08-28 |
发明(设计)人: | 田绍洁;回博阳 | 申请(专利权)人: | 大连经济技术开发区圣洁真空技术开发有限公司 |
主分类号: | C23C8/36 | 分类号: | C23C8/36 |
代理公司: | 大连科技专利代理有限责任公司 21119 | 代理人: | 龙锋 |
地址: | 116600 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 离子 氮化 堆放 阴极 输电 装置 | ||
1.一种新型用于离子轰击炉的堆放阴极输电装置,其特征在于安装在离子轰击炉底部。
2..根据权利要求1所述的堆放阴极输电装置,其特征在于在金属内屏蔽套(7)和金属屏蔽套(9)之间形成了一个规定的“气隙保护”层。
3.根据权利要求1所述的堆放阴极输电装置,其特征在于所述堆放阴极输电装置是通过电源线(19),电源线插头(17),阴极杆(4)和导电架(11),把电流传到工件。
4.根据权利要求1所述的堆放阴极输电装置,其特征在于再通过离子轰击炉底部炉壁(1)水冷层固定连接阴极输电导套(2),并在其内轴线方向安装有绝缘座(3),十字阴极导电杆(4),防溅套(5),屏蔽垫(6),金属内屏蔽套(7),空位绝缘垫(8)和金属屏蔽套(9),并用螺帽(10)压紧。
5.在金属内屏蔽套(7)和金属屏蔽套(9)之间形成了一个气隙保护层,并用螺帽(10)将导电架(11)和十字阴极导电杆(4)固定在一起,使导电架(11)与工件或阴极盘相连,再通过阴极导套(2)伸出炉底外部,并在其内安装密封垫(12),内绝缘套(13),垫圈(14)螺母(15)和绝缘板(16),并在十字阴极导电杆(4)的端部安装电源插头(17)和绝缘垫,插入电源线(19),然后用压紧螺母(20)紧固,电流便经过电源线(19),电源线插头(17),阴极杆(4),导电架(11),到达工件。
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