[发明专利]一种用于减小大尺寸液晶光阀极间电容的制备方法

权利要求书

1.一种用于减小大尺寸液晶光阀极间电容的制备方法，其特征在于，具体方法包括如下步骤：

（1）选择一块大尺寸ITO玻璃，经过特殊处理将大尺寸ITO玻璃表面刻蚀成所需的形状，同样处理另一块相同的大尺寸ITO玻璃；大尺寸ITO玻璃的特殊处理过程如下：

a)大尺寸ITO玻璃表面清洗：

主要包括清水清洗，在室温、大气压下清洗，去除表面玻璃屑及易除去物；5%NaOH超声清洗，35-45^oC，30min，数控超声波清洗器，去除表面油脂；去离子水超声清洗，35-45^oC，30min，数控超声波清洗器，去除表面附着物；有机溶剂清洗，室温，大气压下清洗，去除表面有机物；紫外臭氧清洗，35-45^oC，20min，氧等离子清洗设备清洗，去除表面较难除却的杂质；

b）光刻胶旋涂：

将光刻胶过滤2次，先后采用两种旋涂模式进行旋涂，第一种转速600r/min，时间10s，第二种转速2000r/min，时间40s；旋涂完成后避光烘温90 ^oC保存，时间30min；

c)紫外曝光：

根据所需的电极形状以及电极接口的位置设计菲林板，将菲林板覆盖在ITO玻璃上，待光强稳定后，开始紫外曝光，光强为2.80Wm/cm²，时间为20s；电极接口的制备是通过菲林板设计得到的；

d)显影：

将曝光后的ITO玻璃放入培养皿中，再将正胶显影液倒入培养皿中至淹没ITO玻璃表面1-1.5cm，显影时间为40-50s；

e)刻蚀：

将显影后的ITO玻璃放入培养皿中，再将王水(HNO₃:H₂O:HCl=1:13:13)倒入培养皿中至淹没ITO玻璃表面1-1.5cm，刻蚀时间为20-30min；

f)清洗光刻胶：

将刻蚀后的ITO玻璃用丙酮清洗表面，洗去玻璃表面的光刻胶；

（2）在两块大尺寸ITO玻璃边缘涂抹上一层固化胶；

（3）将两块大尺寸ITO玻璃在贴片压合机上贴片压合，得到大尺寸液晶盒；

（4）将相应的液晶复合材料注入上述液晶盒中，就得到极间电容减小的大尺寸液晶光阀。

2.根据权利要求1所述的用于减小大尺寸液晶光阀极间电容的制备方法，其特征在于，所述的液晶复合材料包括有聚合单体、手性剂、光引发剂和向列相液晶。