[发明专利]一种通过识别探针卡类型预防烧针的方法有效
申请号: | 201310196303.0 | 申请日: | 2013-05-23 |
公开(公告)号: | CN103257274B | 公开(公告)日: | 2016-11-30 |
发明(设计)人: | 尹彬锋;赵敏;李瀚超 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G01R27/02 | 分类号: | G01R27/02;G01R35/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 陆花 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 通过 识别 探针 类型 预防 方法 | ||
1.一种通过识别探针卡类型预防烧针的方法,其特征在于包括:
第一步骤:提供探针卡电阻测试结构,其中所述探针卡电阻测试结构包括测试电阻,所述测试电阻的第一端包括第一连接点和第二连接点,所述测试电阻的第二端包括第一连接点和第二连接点,其中第一连接点连接至第一金属垫,第二连接点连接至第二金属垫,第三连接点连接至第三金属垫,第四连接点连接至第四金属垫;
第二步骤:利用探针卡电阻测试结构来测试探针卡的电阻值,其中将探针卡的的两个探针的一端分别连接至第一金属垫和第二金属垫并测量探针卡的两个探针的另一端之间的电阻大小,或者将探针卡分别连接至第三金属垫和第四金属垫并测量探针卡的两个探针的另一端之间的电阻大小;
第三步骤:当第二步骤测得的电阻大小不小于预定电阻值时,利用所述探针卡执行测试;
第四步骤:当第二步骤测得的电阻大小小于预定电阻值时,发出警告信息,并且不利用所述探针卡执行测试。
2.根据权利要求1所述的通过识别探针卡类型预防烧针的方法,其特征在于,所述探针卡用于绝缘体击穿电压测试。
3.根据权利要求1或2所述的通过识别探针卡类型预防烧针的方法,其特征在于,所述预定电阻值的大小介于80欧姆至110欧姆之间。
4.根据权利要求1或2所述的通过识别探针卡类型预防烧针的方法,其特征在于,所述预定电阻值的大小等于100欧姆。
5.根据权利要求1或2所述的通过识别探针卡类型预防烧针的方法,其特征在于,在第四步骤中,当第二步骤测得的电阻大小小于预定电阻值时,停止测试。
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