[发明专利]一种阳极及其制备方法和有机电致发光器件无效
申请号: | 201310196696.5 | 申请日: | 2013-05-23 |
公开(公告)号: | CN104183735A | 公开(公告)日: | 2014-12-03 |
发明(设计)人: | 周明杰;冯小明;陈吉星;王平 | 申请(专利权)人: | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司 |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 阳极 及其 制备 方法 有机 电致发光 器件 | ||
技术领域
本发明涉及有机电致发光领域,特别涉及一种阳极及其制备方法和有机电致发光器件。
背景技术
有机电致发光器件(Organic Light Emission Diode,以下简称OLED),具有亮度高、材料选择范围宽、驱动电压低、全固化主动发光等特性,同时拥有高清晰、广视角,以及响应速度快等优势,是一种极具潜力的显示技术和光源,符合信息时代移动通信和信息显示的发展趋势,以及绿色照明技术的要求,是目前国内外众多研究者的关注重点。
到目前为止,OLED在照明和显示领域的应用还没有大规模开展,除了光效,使用寿命等方面还为完全达到市场需求以外,其价格也是制约其大量应用的一个重要原因。通常采用的OLED需要采用氧化铟锡薄膜(ITO)作为阳极,因为其具有较高的可见光透过率和较高的导电率,但是金属铟作为一种贵金属材料,价格高昂且储量稀少,因此OLED的价格难以降下来。目前已有研发技术制备替代ITO薄膜的材料,如印刷有机导电薄膜PEDOT-PSS(聚3,4-乙撑二氧噻吩-聚苯乙烯磺酸盐),但是其导电性能较差;而金属薄膜如Ag,Au等,其对可见光的透过率较低,也难以大规模应用,为了进一步提高OLED的发光效率,还需要将该阳极进行优化,以利于空穴的注入,并且所采用的材料中,必须对可见光具有较高的透过率,以便于器件的出光。
发明内容
为解决上述技术问题,本发明提供了一种阳极,所述阳极包括依次层叠的氧化物层、导电层和氧化石墨烯层,氧化物层作为光干涉层,可以提高阳极的光透过率,导电层可以提高阳极的导电能力;氧化石墨烯层可以提高阳极的功函,使空穴可以比较容易地注入到有机材料中,从而降低器件的启动电压并提高光效;本发明还公开了一种包含上述阳极的有机电致发光器件。
第一方面,本发明提供了一种阳极,所述阳极包括依次层叠的氧化物层、导电层和氧化石墨烯层,所述氧化物层的材质为五氧化二钽(Ta2O5)、三氧化二锑(Sb2O3)、二氧化锆(ZrO2)、氧化铈(CeO2)或氧化铪(HfO2);所述导电层材质为金(Au)、铝(Al)、银(Ag)或铂(Pt)。
优选地,所述氧化物层厚度为40nm~80nm,所述导电层厚度为8nm~20nm,所述氧化石墨烯层厚度为5nm~15nm。
所述阳极包括依次层叠的氧化物层、导电层和氧化石墨烯层,导电层介于氧化层和氧化石墨烯层之间,氧化物层作为光干涉层,用于提高阳极的透过率,导电层可以提高阳极的导电能力;氧化石墨烯层可以提高阳极的功函,使空穴可以比较容易地注入到有机材料中,从而降低器件的启动电压并提高光效。
第二方面,本发明提供了一种阳极的制备方法,包括以下步骤:
(1)提供所需尺寸的玻璃基板,清洗后干燥;
(2)在真空度为1×10-5~1×10-3Pa的真空镀膜室中,在玻璃基板上采用电子束蒸发的方法制备氧化层;所述氧化物层的材质为Ta2O5、Sb2O3、ZrO2、CeO2或HfO2;得到附有氧化物层的基板;
(3)将所述附有氧化物层的基板置于真空度为1×10-5~1×10-3Pa的真空镀膜室中,在氧化物层上采用热阻蒸发的方法制备导电层,得到附有氧化物层和导电层的基板,所述导电层的材质为Au、Al、Ag或Pt;所述真空度为1×10-5~1×10-3Pa,蒸发速度为0.05~0.5nm/s;
(4)将附有氧化物层和导电层的基板置于气相沉积室中,通入氢气使气相沉积室的压强维持在10Pa~1000Pa,随后将气相沉积室温度升温至600℃~1000℃,再通入碳源气体使气相沉积室的压强维持在10Pa~1000Pa,在所述导电层上采用气相沉积的方法制备石墨烯薄膜,得到附有石墨烯薄膜、氧化物层和导电层的基板;
(5)通过等离子处理或臭氧处理氧化石墨烯薄膜得到氧化石墨烯层,最终得到所述阳极,所述阳极包括依次层叠的氧化物层、导电层和氧化石墨烯层。
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