[发明专利]柔性导电电极及其制备方法无效
申请号: | 201310196848.1 | 申请日: | 2013-05-23 |
公开(公告)号: | CN104183776A | 公开(公告)日: | 2014-12-03 |
发明(设计)人: | 周明杰;冯小明;张娟娟;王平 | 申请(专利权)人: | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 生启;何平 |
地址: | 518100 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 导电 电极 及其 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种柔性导电电极及其制备方法。
背景技术
有机电致发光器件(OLED)通常使用超薄玻璃,聚合物薄膜、金属薄片等作为柔性衬底,比玻璃衬底的具有更轻薄、更耐冲击的优点,并且柔性器件的制备可以采用卷对卷方式生产,从而大幅地降低制造成本。
不锈钢薄片作为柔性有机电致发光器件,具有耐热性好,强度高的有点,但是不锈钢薄片作为柔性导电电极时,表面的粗糙度较大。通常在不锈钢薄片上制备一层有机物作为平整层,然而有机物的耐热性较差,在后续的制备过程中容易因为高温破坏柔性导电电极的平整性。
发明内容
基于此,有必要提供一种耐高温的柔性导电电极及其制备方法。
一种柔性导电电极,包括依次层叠的不锈钢衬底、平整层及导电层,所述平整层的材料为二氧化锆,所述导电层的材料为铝、银、镁、金、铂或镍。
在其中一个实施例中,所述不锈钢衬底的厚度为0.05mm~0.2mm。
在其中一个实施例中,所述平整层的厚度为2μm~20μm。
在其中一个实施例中,所述导电层的厚度为50nm~500nm。
一种柔性导电电极的制备方法,包括以下步骤:
将不锈钢衬底浸入锆的前驱体溶液中,以5cm/min~20cm/min的速度提拉不锈钢衬底,使不锈钢衬底表面吸附锆的前驱体溶液,其中,锆的前驱体溶液中含有锆的醇盐、溶剂及稳定剂;
将表面吸附有锆的前驱体溶液的不锈钢衬底先在25℃~80℃干燥,之后在含有氧气的气氛下以10℃/min~20℃/min的速度加热至600℃~1000℃,保温1小时~5小时,在不锈钢衬底表面形成由二氧化锆组成的平整层;及
在真空镀膜系统中,在所述平整层表面制备导电层,所述导电层的材料为铝、银、镁、金、铂或镍。
在其中一个实施例中,所述锆的前驱体溶液由以下步骤制备:
将稳定剂加入溶剂中形成混合液,所述溶剂包括烷基醇及水,所述烷基醇与所述水的体积比为0.8:1~1:1;及
将锆的醇盐滴加到所述混合液中,并不断搅拌形成所述锆的前驱体溶液。
在其中一个实施例中,所述锆的醇盐、溶剂及稳定剂的体积比为1:(5~10):(5~20)。
在其中一个实施例中,所述锆的醇盐的通式为Zr(O-R)4,其中,O为氧键,R为碳原子数为2~5的烷基。
在其中一个实施例中,所述稳定剂为乙酰丙酮。
在其中一个实施例中,所述锆的醇盐的滴加速度为2ml/min~5ml/min。
上述柔性导电电极,在不锈钢衬底的表面形成二氧化锆薄膜作为平整层,得到的柔性导电电极的表面平整度较高,相对于有机物平整层,二氧化锆的耐热性能良好,在后续制备过程中,不会因为高温破坏柔性导电电极的表面平整性,不容易产生针孔、尖刺,耐高温性能良好;上述柔性导电电极的制备方法,通过提拉和高温烧结在不锈钢衬底表面制备二氧化锆薄膜作为平整层,工艺简单,材料来源广泛。
附图说明
图1为一实施方式的柔性导电电极的结构示意图;
图2为一实施方式的柔性导电电极的制备方法的流程图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对柔性导电电极及其制备方法进一步阐明。
请参阅图1,一实施方式的柔性导电电极100包括依次层叠的不锈钢衬底10、平整层30及导电层50。
不锈钢衬底10的材料为常用的不锈钢材料,如美标AISI304,AISI303型。不锈钢衬底10的厚度为0.05mm~0.2mm。优选的,不锈钢衬底10的表面粗糙度(Ra)小于0.6μm。
平整层30形成于不锈钢衬底10的表面。平整层30的材料为二氧化锆(ZrO2)。平整层30的厚度为2μm~20μm。需要说明的是,本实施方式中,平整层30形成于不锈钢衬底10的一个表面,当然在其他实施例中,平整层30也可形成于不锈钢衬底10的两个相对的表面,或包覆不锈钢衬底10,对于柔性导电电极100的使用不会有影响。
导电层50形成于平整层30的表面。导电层50的材料为铝(Al)、银(Ag)、镁(Mg)、金(Au)、铂(Pt)或镍(Ni)。导电层50的厚度为50nm~500nm。
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