[发明专利]防碰撞悬浮抛光装置

权利要求书

1.一种防碰撞悬浮抛光装置，包括机座、悬浮基盘、研磨盘和修正环，所述悬浮基盘与加压组件连接，所述悬浮基盘卡装在修正环内，所述修正环安装在研磨盘上，所述研磨盘通过主驱动器绕固定中心轴线转动，所述悬浮基盘与研磨盘相对面沿圆周方向设有楔形槽和用以放置待加工工件的加工工位，所述楔形槽中充满抛光液，所述楔形槽和加工工位间隔设置；其特征在于：所述抛光装置还包括第一永磁环和第二永磁环，所述第一永磁环套装在悬浮基盘外表面，所述第二永磁环套装在修正环内表面，所述第一次永磁环和第二永磁环之间存在间隙且第一永磁环外圈和第二永磁环内圈磁性相同。

2.如权利要求1所述的防碰撞悬浮抛光装置，其特征在于：所述加压组件为电磁加压组件，所述电磁加压组件包括电磁铁和压力传感器，所述电磁铁固定在机座上且与悬浮基盘同心，所述电磁铁与机座之间安装有压力传感器，所述悬浮基盘为铁磁体。