[发明专利]一种具有振动释放和纳米级定位的真空吸附微操作工具

权利要求书

1.一种具有振动释放和纳米级定位的真空吸附微操作工具，其特征在于具有振动释放和纳米级定位的真空吸附微操作工具由连接底座(1)、压电陶瓷管(2)、连接套件(3)、外螺纹连接杆(4)和微吸头(5)组成；所述连接底座(1)包括两个螺钉沉头孔(1-1)、螺纹连接孔(1-2)、放置陶瓷管的圆槽(1-3)、气路快插连接螺纹孔(1-4)和走气孔(1-5)；所述的压电陶瓷管(2)由压电陶瓷内孔(2-1)和环形陶瓷主体(2-2)组成；所述的连接套件(3)包括圆槽(3-1)、气流通孔(3-2)和内螺纹孔(3-3)；所述的外螺纹连接杆(4)包括连接外螺纹(4-1)和通气孔(4-2)；所述的微吸头(5)包括气流通道(5-1)和末端微吸附结构(5-2)；通过两个螺钉沉头孔(1-1)和螺纹连接孔(1-2)将具有振动释放和纳米级定位的真空吸附微操作工具的底座(1)固定在操作运动平台上；环形陶瓷主体(2-2)的两端分别与放置陶瓷管的圆槽(1-3)和圆槽(3-1)胶粘固定在一起；外螺纹连接杆(4)通过连接外螺纹(4-1)和内螺纹孔(3-3)与连接套件(3)连接在一起，微吸头(5)与外螺纹连接杆(4)的通气孔(4-2)依次经胶粘和压制固定连接在一起；且连接完成后保证外部气路产生的气流依次流经气路快插连接螺纹孔(1-4)、走气孔(1-5)、压电陶瓷内孔(2-1)、气流通孔(3-2)、通气孔(4-2)和气流通道(5-1)传递到末端微吸附结构(5-2)处。

2.根据权利要求1所述的一种具有振动释放和纳米级定位的真空吸附微操作工具，其特征在于所述的末端微吸附结构(5-2)呈喇叭口状。