[发明专利]一种星用扫描角监控器测角精度检测装置

权利要求书

1.一种星用扫描角监控器测角精度检测装置，其特征在于，所述装置包括星用扫描角监控器、双面模拟摆镜、检测平台、二维平移台、二维倾斜台、标准圆器、标准块、数显转台、激光器、检测基准光轴、芯轴、第一自准直仪、第二自准直仪、升降架、小平面镜、三维调整台、量块、千分表，其中：

在检测平台上放置二维平移台、数显转台和升降架，并且二维平移台高于数显转台；在二维平移台上放置二维倾斜台；在数显转台上放置标准块和三维调整台；

星用扫描角监控器安装在二维倾斜台上，且小平面镜与星用扫描角监控器的安装基面位置处固定连接，并一起放置在二维平移台上；二维倾斜台，用于调节星用扫描角监控器的俯仰角θ_1y和倾斜角θ_1Z；星用扫描角监控器，用于提供五折镜的内夹角；二维平移台，用于调节星用扫描角监控器与双面模拟摆镜沿z轴方向的距离；小平面镜与第二自准直仪的输出光束对准，用于辅助第二自准直仪监测星用扫描角监控器的角度变化量；

双面模拟摆镜安装在三维调整台上，并一起放置在数显转台上；三维调整台，用于调节双面模拟摆镜的俯仰角θ_2y和倾斜角θ_2Z以及双面模拟摆镜沿z轴方向与星用扫描角监控器的距离；双面模拟摆镜，含有第一光学面和第二光学面；星用扫描角监控器、双面模拟摆镜和第一自准直仪依序位于检测基准光轴上，第一光学面，用于星用扫描角监控器自准检测，第二光学面，用于第一自准直仪对准监测；

第一自准直仪、第二自准直仪放置在升降架上，星用扫描角监控器和双面模拟摆镜位于第一自准直仪输出的光束线上，第一自准直仪用于监测双面模拟摆镜的角度变化量；升降架，用于调节第一自准直仪、第二自准直仪沿y轴方向的高度；

芯轴套入数显转台的中心孔中，标准圆器放置于标准块上，并靠紧芯轴；标准圆器，用于监测双面模拟摆镜和星用扫描角监控器的安装基面的平行度，以及监测双面模拟摆镜、星用扫描角监控器与数显转台的垂直度；标准块，用于辅助标准圆器检测星用扫描角监控器与数显转台的垂直度；数显转台，用于控制双面模拟摆镜的角度变化；

激光器发出的激光束对准五折镜的中心棱镜，形成一检测基准光轴，用于保证检测基准有效并准确传递，用于提供检测基准和尺寸过渡基准；

量块放置于数显转台上方及星用扫描角监控器和双面模拟摆镜之间，量块的一面靠近星用扫描角监控器的安装基面，另一面靠近双面模拟摆镜的第一光学面，用于测量从星用扫描角监控器的安装基面到双面模拟摆镜第一光学面的空间过渡尺寸；

千分表固定在检测平台上，千分表的指针轻触二维平移台沿z轴方向的前端面，用于精确定位二维平移台沿z轴方向移动的位置。

2.根据权利要求1所述的星用扫描角监控器测角精度检测装置，其特征在于，所述激光器为标定仪器，激光器输出光束直径小且发散角小，光束直径≤φ1mm，发散角≤1.2mrad。

3.根据权利要求1所述的星用扫描角监控器测角精度检测装置，其特征在于，所述数显转台测角误差≤2″，角晃≤1″。

4.根据权利要求1所述的星用扫描角监控器测角精度检测装置，其特征在于，所述星用扫描角监控器的发射器发出的光束经双面模拟摆镜的第一光学面反射回星用扫描角监控器的接收器形成自准直检测光路；第一自准直仪垂直入射的光束经双面模拟摆镜的第二光学面反射回第一自准直仪的分划处形成自身像，在第一自准直仪的目视单元读出此时的角度值；当双面模拟摆镜的角度发生微小改变时，第一自准直仪的目视单元的示值也出现变化，从而在检测过程中第一自准直仪时刻监测双面模拟摆镜的角度变化；所述双面模拟摆镜的两个光学面的面形偏差：峰谷值PV≤λ/10，均方根值RMS≤λ/50，两个光学面平行度≤2″，波长λ＝0.6328μm。

5.根据权利要求1所述的星用扫描角监控器测角精度检测装置，其特征在于，所述标准圆器为00级标准器，圆度≤0.2μm，母线对底面的垂直度≤3μm。

6.根据权利要求1所述的星用扫描角监控器测角精度检测装置，其特征在于，所述芯轴为辅助定心元件，半径r＝S；圆柱度≤10μm，芯轴的下端为2#莫氏锥方便装入数显转台中心孔内，S为双面模拟摆镜旋转中心O到双面模拟摆镜的第一光学面的距离。

7.根据权利要求1所述的星用扫描角监控器测角精度检测装置，其特征在于，所述第一自准直仪、第二自准仪为辅助对准监测仪器，分辨力≤0.2″。