[发明专利]一种扫描隧道显微镜扫描探头无效
| 申请号： | 201310198781.5 | 申请日： | 2013-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN104181335A | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 吴克辉;何小月 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/16 | 分类号： | G01Q60/16 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 隧道 显微镜 探头 | ||
【权利要求书】：
1.一种扫描隧道显微镜扫描探头，包括：
样品座，用于承载样品；
扫描基座，用于控制扫描探针；
侧板，用于刚性连接所述样品座和所述扫描基座。
2.根据权利要求1所述的扫描探头，其中所述侧板由透明材料制成。
3.根据权利要求1所述的扫描探头，其中所述侧板由蓝宝石或石英制成。
4.根据权利要求1所述的扫描探头，其中所述侧板由导热材料制成。
5.根据权利要求1所述的扫描探头，其中所述侧板通过螺丝分别固定到所述样品座和所述扫描基座。
6.根据权利要求1所述的扫描探头，其中扫描基座中具有逼近调节装置，用于使所述扫描探针逼近样品表面。
7.根据权利要求1所述的扫描探头，其中所述逼近调节装置为逼近桶。
8.根据权利要求1所述的扫描探头，其中所述逼近桶由无氧铜加工而成。
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