[发明专利]一种聚合物缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.具有以下式(I)结构通式的聚合物缓蚀剂，

其中：

X为卤素；

n为1至15的正整数，优选为2至10的正整数；

取代基R₁、R₂、R₃、R₄和R₅各自独立或分别为取代或未取代的烷基或氢，且R₁、R₂、R₃、R₄和R₅中至少有2个取代基为氢，且R₁、R₂、R₃、R₄和R₅不同时为氢。

2.如权利要求1所述的聚合物缓蚀剂，其特征在于，X是氯、溴或碘。

3.如权利要求1所述的聚合物缓蚀剂，其特征在于，所述的烷基是C1-C5烷基，优选C1-C3烷基，特别优选甲基。

4.权利要求1所述的聚合物缓蚀剂的制备方法，包括以下步骤：在容器中，加入引发剂、催化剂与卤代环氧丙烷于0～25℃下混合反应3～10小时，再加入烷基吡啶，于90～150℃下回流冷凝反应2～6小时，得到权利要求1所述的聚合物缓蚀剂；其中所述的引发剂、催化剂、卤代环氧丙烷与烷基吡啶的质量用量比为1～2∶1～2∶40～100∶10～50。

5.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述引发剂为醇类。

6.如权利要求5所述的制备方法，其特征在于，作为引发剂的醇类是甲醇、乙醇、异丙醇、乙二醇、丙二醇和丙三醇中的一种或两种以上的混合物；优选为乙二醇。

7.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述的催化剂为三氟化硼、四氢呋喃、六氟化磷、三乙基氧盐、三氟化硼乙醚中的一种或两种以上的混合物；优选为三氟化硼乙醚。

8.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述的卤代环氧丙烷为环氧氯丙烷、环氧溴丙烷和环氧碘丙烷中的一种或两种以上的混合物；优选为环氧氯丙烷。

9.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述的烷基吡啶为2-甲基吡啶、3-甲基吡啶、4-甲基吡啶、2，3-二甲基吡啶、2，4-二甲基吡啶、2，5-二甲基吡啶、3，4-二甲基吡啶、2，3，5-三甲基吡啶、2，4，6-三甲基吡啶中的一种或两种以上的混合物，优选为2-甲基吡啶和/或2，4-二甲基吡啶。

10.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述的引发剂、催化剂、卤代环氧丙烷和烷基吡啶的质量用量比为1～1.5∶1～1.5∶50～80∶25～40。