[发明专利]刀片保持具收纳体

说明书

技术领域

本发明涉及一种刀片保持具的收纳体，所述刀片保持具是使用于如下的基板加工装置中，该基板加工装置是通过一面将圆周脊线上形成着V字型刀尖的轮片(也称为刀轮或刻划轮)按压于载置在平台(table)上的基板的表面一面进行刻划，而对所述基板加工出切断用划线或进行切断(断裂)。

背景技术

以往，已知有利用轮片在由玻璃、硅、陶瓷、半导体等脆性材料构成的基板或贴合基板(以下简称为“基板”)的表面形成沿着预刻划线的划线(切断用的槽)或从预切断线完全切断的基板加工装置(参照例如专利文献1、专利文献2)。

图16是表示所述专利文献等中揭示的以往的基板加工装置的一例的概略立体图。该基板加工装置B包含载置并保持成为加工对象的基板W的水平的平台31。平台31构成为可通过内置马达的旋转驱动部32而在水平面内转动且可沿着水平的轨道33在Y方向上移动。该Y方向上的移动是通过利用马达34进行旋转的螺杆轴35而进行。

基板加工装置B中，以横跨平台31的方式设置着包含一对支柱36、36及以将这些支柱36、36连接的方式沿X方向水平延伸的导杆37的桥部38。在导杆37设置着沿X方向水平延伸的导件39，刻划头40配置成可沿着导件39在X方向上移动。刻划头40在X方向上的移动是通过马达41的驱动而进行。包含轮片42e的刀片保持具42经由保持具接头43可装卸地安装在刻划头40上。在刻划头40的内部组装着可实现保持具接头43的升降的升降机构。

在如上文所述的构成下，一面将轮片42e按压于载置在平台31上的基板W一面使轮片42e与平台31中的一者或两者移动，由此，可在X-Y方向上对基板W进行刻划而形成刻划槽或进行切断。

图17及图18是表示以往的刀片保持具42及保持具接头43的构成的图。刀片保持具42包含大致圆柱状的主体部42a、及相对于主体部42a的轴心平行且相互对称地形成在主体部42a的一端(下端)的一对平坦面42b、42b，此外，与该平坦面42b平行地形成的切槽42c沿着主体部42a的轴心形成在这一对平坦面42b、42b之间。在该切槽42c内，经由相对于主体部42a的轴心正交的轮轴42d而旋转自如地安装着轮片42e。在一对平坦面42b中的一个面上标印着代码42i，该代码42i记录着安装在该刀片保持具42上的轮片42e的直径或种类、安装轮片时的设定信息等管理上有用的固有数据。

而且，在主体部42a的另一端(上端)设置着安装在保持具接头43时用于定位的安装部42f。安装部42f包含切削主体部42a而形成的平面部42g与倾斜面42h。平面部42g与主体部42a的轴心平行，且与位于下方的一对平坦面42b正交。而且，主体部42a是由铁等磁性金属构成。

保持具接头43在上部包含轴承43a，下部成为保持刀片保持具42的保持部43b。在保持部43b设置着朝向下方开口的剖面大致圆形的开口部43c，在其内部深处部安装着磁铁43j。此外，在开口部43c的内部设置着在开口部的与轴心相离的部位沿与该轴心垂直的方向延伸的用于定位的平行销43d。该平行销43d是当刀片保持具42插入于开口部43c时，与刀片保持具42的倾斜面42h接触而以使得刀片保持具42的方向或姿势固定的方式进行定位。

将刀片保持具42安装在保持具接头43时，如图18所示，使刀片保持具42从其安装部42f插入保持具接头43的开口部43c而进行。当将安装部42f插入于保持具接头43的开口部43c时，平行销43d与刀片保持具42的倾斜面42h接触而定位，并且刀片保持具42的上端部被磁铁43j磁性吸附而保持。由此，可在刀片保持具42的姿势朝向固定方向的状态下简单地安装在保持具接头43上。更换轮片42e时，抵抗磁铁的磁力从保持具接头43的开口部43c拉拔刀片保持具42，与刀片保持具一并更换。新安装的刀片保持具42是通过利用另外设置的读取器(reader)读取标印在平坦面42b上的记录着刀片固有数据的代码42i而选择。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]国际公开编号WO2007/063979公报

[专利文献2]日本专利特开2011-218815号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]