[发明专利]探针卡的检测方法有效
| 申请号： | 201310199768.1 | 申请日： | 2013-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN103293503B | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 唐莉 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 张亚利,骆苏华 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针 检测 方法 | ||
1.一种探针卡的检测方法，其特征在于，包括：
提供晶圆，在所述晶圆上分布多个导电区，至少两个导电区电连接且任意一个导电区只与一个导电区电连接；
将所述探针卡上的探针与晶圆上的导电区对位；
测得与电连接的两个导电区对位的两个探针之间的接触电阻；
若所述接触电阻位于预期电阻范围内，则判定对应所述接触电阻的两个探针合格；
若所述接触电阻超出预期电阻范围，则判定对应所述接触电阻的两个探针不合格。
2.如权利要求1所述的检测方法，其特征在于，还包括：在未电连接的两个导电区的两侧，且靠近所述两个未电连接的导电区处设置两条平行导线；
在将所述探针卡上的探针与晶圆上的导电区对位后，测得与所述两个未电连接的导电区对位的两个探针之间的检测电流；
若所述检测电流位于预期电流范围内，则判定对应所述检测电流的两个探针能够与对应所述检测电流的两个导电区形成一对一对准；
若所述检测电流超出预期电流范围，则判定对应所述检测电流的两个探针无法与对应所述检测电流的两个导电区形成一对一对准。
3.如权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述导电区的数量大于等于所述探针卡上探针的数量。
4.如权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所有相邻的两个导电区电连接，且任意一个导电区仅与其中一个相邻的导电区电连接。
5.如权利要求2所述的检测方法，其特征在于，还包括：在所有相邻两个未电连接的导电区两侧，且靠近所述相邻两个未电连接的导电区处设置两条平行导线。
6.如权利要求1或4所述的检测方法，其特征在于，测得与电连接的两个导电区对位的两个探针之间的接触电阻的方法，包括：
在与电连接的两个导电区对位的两个探针之间施加电压；
测试所述两个探针之间通过的电流；
所述电压与电流的比值为接触电阻。
7.如权利要求2或5所述的检测方法，其特征在于，所述测得与两个未电连接的导电区对位的两个探针之间的检测电流的方法，包括：
在与所述两个未电连接的导电区对位的两个探针之间施加电压；
测试所述两个探针之间的检测电流。
8.如权利要求1所述的检测方法，其特征在于，对每个探针测试两次以上，对应每个探针得到多个接触电阻。
9.如权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述导电区包括芯片、位于芯片上的焊垫。
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