[发明专利]具有在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置及其方法

权利要求书

1.一种具有在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置，其特征在于，包括电驱动件、纠偏执行机构和控制系统，所述纠偏执行机构设置于隔离框架形成的真空环境中，所述电驱动件和所述控制系统设置于常压环境中，所述纠偏执行机构包括导向轮机构、纠偏传感器和连接杆，所述电驱动件和所述导向轮机构通过所述连接杆连接，所述电驱动件与所述纠偏传感器均与所述控制系统电连接，所述纠偏传感器检测卷性材料的偏移方向并输出相应的偏移信号，所述控制系统接收所述纠偏传感器输出的偏移信号而控制所述电驱动件调整所述导向轮机构的方向，以使所述纠偏执行机构调整卷性材料的位置。

2.根据权利要求1所述的具有在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置，其特征在于，所述导向轮机构包括：

导正棍；

固定板，安装有第一固定座、第二固定座、第一固定杆和第二固定杆，所述第一固定杆和所述第二固定杆分别固定安装于所述第一固定座和所述第二固定座；

轴承，所述轴承包括第一直线轴承、第二直线轴承、第一万向轴承、第二万向轴承和第三万向轴承，所述第一直线轴承和所述第二直线轴承均固定于所述固定板，所述连接杆滑设于所述第一直线轴承和所述第二直线轴承内，所述第一万向轴承固定套设于所述连接杆并设置于所述第一直线轴承和所述第二直线轴承之间，且所述第一万向轴承与所述导正棍固定连接，所述第二万向轴承和所述第三万向轴承均固定安装于所述导正棍，所述第一固定杆和所述第二固定杆分别滑设于所述第二万向轴承和所述第三万向轴承内，且所述第一万向轴承、所述第二万向轴承和所述第三万向轴承呈三角形形状设置。

3.根据权利要求2所述的具有在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置，其特征在于，所述导正棍包括底板、两侧板和两导向轴，所述两侧板固定安装于所述底板两侧；所述两导向轴均安装于所述两侧板，且分别安装于所述两侧板的两端；所述三个万向轴承均固定安装于所述底板一侧。

4.根据权利要求2所述的具有在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置，其特征在于，所述第一万向轴承、所述第二万向轴承和所述第三万向轴承呈正三角形形状设置，且所述第一万向轴承、所述第二万向轴承和所述第三万向轴承构成的正三角形位于所述底板的中心。

5.根据权利要求4所述的具有在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置，其特征在于，所述导向轮机构不工作时，所述第一万向轴承位于所述第一直线轴承和所述第二直线轴承中间。

6.根据权利要求1至5任意一项所述的具有在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置，其特征在于，所述电驱动件包括电机和驱动缸，所述驱动缸安装于所述电机，所述驱动缸与所述连接杆通过密封法兰密封连接。

7.根据权利要求6所述的具有在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置，其特征在于，所述驱动缸为直线式驱动缸或者旋转式驱动缸。

8.根据权利要求1至5任意一项所述的具有在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置，其特征在于，还包括安装架，所述纠偏传感器通过所述安装架安装于所述导向轮机构。

9.一种具有在真空等离子环境中调整张力的纠偏方法，其特征在于，包括以下步骤：

检测卷性材料的偏移方向并输出相应的偏移信号；

接收所述偏移信号并控制位于常压环境中的电驱动件的驱动；

调整导向轮机构的方向。

10.根据权利要求9所述的具有在真空等离子环境中调整张力的纠偏方法，其特征在于，所述调整导向轮机构的方向具体步骤为：

横向直线运动或纵向直线运动；

沿异于横向方向或纵向方向且两个不平行方向运动；

于同一水平面上摆动。