[发明专利]蓝宝石衬底用去蜡清洗剂在审
申请号: | 201310201274.2 | 申请日: | 2013-05-27 |
公开(公告)号: | CN104178367A | 公开(公告)日: | 2014-12-03 |
发明(设计)人: | 高如山 | 申请(专利权)人: | 天津西美半导体材料有限公司 |
主分类号: | C11D1/831 | 分类号: | C11D1/831;C11D3/26;C11D3/04;C11D3/37;C11D3/10;C11D3/60 |
代理公司: | 无 | 代理人: | 无 |
地址: | 300384 天津市华苑产业区海泰发*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蓝宝石 衬底 用去蜡清 洗剂 | ||
1.一种蓝宝石衬底用去蜡清洗剂,其特征在于:该蓝宝石衬底用去蜡清洗剂含5-15%重量的烷基糖苷表面活性剂,5-20%的其它表面活性剂,3-5%重量的助溶剂,3-5%重量的金属络合物,0.5-1%的重量的悬浮剂,0.01-1%重量的水质软化剂或抗硬水剂和10-20%重量的蓝宝石衬底腐蚀剂和适量的纯水;本发明的蓝宝石衬底用去蜡清洗剂为水基环保型清洗剂,清洗后清洗剂15天内可自行降解;且清洗效率高,只需进行一次清洗即可达到清洗要求,提高了生产效率,加入了缓蚀剂保证清洗过程中清洗剂不会对蓝宝石表面造成严重腐蚀。
2.按照权利要求1所述的蓝宝石衬底用去蜡清洗剂,其特征在于:所述蓝宝石衬底用去蜡清洗剂为水基环保型清洗剂,清洗后清洗剂15天内可自行降解。
3.按照权利要求1所述的蓝宝石衬底用去蜡清洗剂,其特征在于:所述蓝宝石衬底用去蜡清洗剂只需进行一次清洗即可达到清洗要求,提高了生产效率,也不会对蓝宝石表面造成严重腐蚀。
4.按照权利要求1所述的蓝宝石衬底用去蜡清洗剂,其特征在于:所述烷基糖苷表面活性剂一般淀粉糖苷表面活性剂,质量含量为5-15%。
5.按照权利要求1所述的蓝宝石衬底用去蜡清洗剂,其特征在于:所述其它表面活性剂选用阴离子表面活性剂或者非离子表面活性剂,质量含量为5-20%。
6.按照权利要求1所述的蓝宝石衬底用去蜡清洗剂,其特征在于:所述助溶剂选自尿素、乙酸乙酯、乙二醇丁醚或其混合物,质量含量为3-5%。
7.按照权利要求1所述的蓝宝石衬底用去蜡清洗剂,其特征在于:所述金属络合物选自以下的一种或多种:乙二胺四乙酸钠,柠檬酸钠,乙二胺四乙酸,氮川三乙酸或氮川三乙酸钠,质量含量为3-5%。
8.按照权利要求1所述的蓝宝石衬底用去蜡清洗剂,其特征在于:所述悬浮剂选自马来酸-丙烯酸共聚物、羧甲基纤维素钠或其组合物。
9.按照权利要求1所述的蓝宝石衬底用去蜡清洗剂,其特征在于:所述水质软化剂或者抗硬水剂为水玻璃、聚氧乙烯醚硫酸盐、月桂酸二乙醇酰胺一种或两种的混合物质量含量为0.01-1%。
10.按照权利要求1所述的蓝宝石衬底用去蜡清洗剂,其特征在于:所述蓝宝石衬底腐蚀剂选自氢氧化钠、氢氧化钾或碳酸钠中的一种或两种的混合物,质量含量为10-20%。
11.按照权利要求1所述的蓝宝石衬底用去蜡清洗剂,其特征在于:其余组分为纯水。
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