[发明专利]沿着光路具有集成透射和反射部分的原子传感器物理封装有效
申请号: | 201310203273.1 | 申请日: | 2013-05-28 |
公开(公告)号: | CN103454446B | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | C.M.肖伯;J.A.瓦塞拉;J.S.斯特雷布利 | 申请(专利权)人: | 霍尼韦尔国际公司 |
主分类号: | G01P15/00 | 分类号: | G01P15/00;G04F5/14;B82Y15/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 殷瑞剑;刘春元 |
地址: | 美国新*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 沿着 具有 集成 透射 反射 部分 原子 传感器 物理 封装 | ||
1.一种用于原子传感器(100)的物理封装的块体(110),包括:
光学透明材料的两个或者更多个片段,其限定真空密封腔室(120)并且包括多个透射和反射表面(140,150)以限定与所述真空密封腔室(120)相交的多个光路(202、204);
其中每个反射表面包括布置在片段表面的一部分上的反射涂层;
其中每个透射表面包括片段的一部分;
光学透明材料的所述两个或者更多个片段包括限定所述真空密封腔室(120)的至少一部分的第一单块片段,所述第一单块片段包括横跨所述多个光路(202、204)中的第一光路(202-1)而布置的第一部分(140-1),以使得在所述第一光路(202-1)中的光入射在所述第一单块片段的所述第一部分(140-1)上。
2.根据权利要求1所述的块体(110),其中所述多个光路(202,204)包括多个光学光波路径(202)和至少一个测量光路(204)。
3.根据权利要求1或者2中任何一项所述的块体(110),其中所述第一单块片段的所述第一部分(140-1)的内表面和外表面是光学透明的,以便透射进入和离开所述第一光路(202-1)的光。
4.根据权利要求1或者2中任何一项所述的块体(110),其中所述第一单块片段的所述第一部分(140-1)包括在其表面上的反射涂层以反射所述第一光路(202-1)中的光。
5.根据权利要求1或者2中任何一项所述的块体(110),其中所述第一单块片段沿着所述第一光路(202-1)限定孔,所述孔在所述第一单块片段的所述第一部分(140-1)处终结。
6.根据权利要求1或者2中任何一项所述的块体(110),其中光学透明材料的所述两个或者更多个片段包括限定所述真空密封腔室(120)的至少一部分的第二单块片段,光学透明材料的所述第二单块片段包括横跨所述第一光路(202-1)而布置的第二部分(150-1),以使得所述第一光路(202-1)中的光入射在所述第二单块片段的所述第二部分(150-1)上,其中所述第二单块片段被牢固地附接到所述第一单块片段。
7.根据权利要求6所述的块体(110),其中所述第一单块片段和所述第二单块片段限定整个真空密封腔室(120)。
8.根据权利要求1或者2中任何一项所述的块体(110),其中所述第一单块片段限定整个真空密封腔室(120);并且
其中所述第一单块片段限定多个孔,每一个孔都沿着所述多个光路(202,204)中的光路,每一个孔从所述第一单块片段中的外部开口延伸并且在所述第一单块片段的反射表面或者光学透明部分之一处终结;
光学透明材料的所述两个或者更多个片段包括牢固地附接在所述第一单块片段中的所述外部开口上的一个或者多个反射镜或者窗口。
9.根据权利要求1或者2中任何一项所述的块体(110),其中所述第一单块片段由玻璃、玻璃-陶瓷或者蓝宝石之一构成。
10.一种形成用于物理封装的块体的方法(300),所述方法(300)包括:
加工(304)光学透明材料的单块质体以形成真空密封腔室的至少一部分;
加工(306)光学透明材料的所述单块质体以形成与所述真空密封腔室相交的光路的至少一部分;
抛光(310)光学透明材料的所述单块质体,其中抛光包括在所述光路的至少一部分的端部处蚀刻第一表面,以使得所述第一表面是光学透明的;
加工(308)光学透明材料的所述单块质体以形成作为所述第一表面的反面并且与所述光路的所述部分相对准的第二表面;
抛光(310)所述第二表面,以使得所述第二表面是光学透明的;以及
将腔室抽空结构附接(318)到所述真空密封腔室的第一外部开口。
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