[发明专利]谱数据分析的方法和系统有效
申请号: | 201310203778.8 | 申请日: | 2009-02-06 |
公开(公告)号: | CN103776855B | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | D·R·科贝特;P·戈特利布;M·J·欧文;A·H·门兹斯 | 申请(专利权)人: | FEI公司 |
主分类号: | G01N23/207 | 分类号: | G01N23/207 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 杜娟娟,王忠忠 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 数据 分析 方法 系统 | ||
1.一种样品的谱数据分析方法,该方法包含以下步骤:
收集未知材料的谱;
提供一组第一数据模板,每个第一数据模板对应于具体材料;
确定要被应用于该第一数据模板以逼近该谱的一组加权因子,该加权因子是通过最小化已加权的第一数据模板和该谱之间的误差因子而确定的;
除去具有负加权因子的第一数据模板的一个或更多个;
通过用所除去的所述一个或更多个第一数据模板来计算该谱的逼近来逼近该谱;以及
从该谱的逼近中所使用的第一数据模板的该加权因子确定存在于该样品中的材料。
2.如权利要求1所述的方法,其中,除去具有负加权因子的第一数据模板的一个或更多个的步骤进一步包含重复除去具有负加权因子的第一数据模板的一个或更多个和重新计算该谱的逼近直到没有第一数据模板具有负加权因子的步骤。
3.如权利要求1所述的方法,进一步包含从用于逼近该谱的第一数据模板的加权因子和相应材料的性质确定该材料在该样品中的相对丰度。
4.如权利要求1所述的方法,其中收集未知材料的谱包括使用非均匀谱子采样来收集谱。
5.如权利要求1所述的方法,其中该谱是通过能量范围内的计数的数量的直方图确定的,且其中一些能量范围比其它能量范围更宽。
6.如权利要求5所述的方法,其中高于指定能量值的能量范围比低于该指定值的能量范围宽。
7.如权利要求1所述的方法,其中确定要被应用于该第一数据模板以逼近该谱的一组加权因子包括使用最小残留法确定加权因子以最小化该误差因子。
8.如权利要求7所述的方法,其中该最小残留法是最小二乘方法。
9.如权利要求1所述的方法,其中确定要被应用于该第一数据模板以逼近该谱的一组加权因子包括使用最大似然法确定加权因子以最小化该误差因子。
10.如权利要求1所述的方法,其中该第一数据模板中的每一个对应于元素。
11.如权利要求1所述的方法,其中该第一数据模板中的每一个对应于矿物质。
12.如权利要求1所述的方法,其中该第一数据模板中的每一个对应于一种元素或元素的组合。
13.如权利要求1所述的方法,其中收集未知材料的谱包括使用能量散布谱学收集x-射线谱,且其中该组第一数据模板包括已知元素的x-射线谱。
14.如权利要求1所述的方法,其中收集未知材料的谱包括收集x-射线衍射信息,且其中该第一数据模板包括已知材料的x-射线衍射信息。
15.如权利要求1所述的方法,进一步包含:
以预定组的第二数据模板代替第一数据模板中的一个,第二数据模板中的每一个对应于具有与所替代的第一数据模板对应的材料的谱峰重叠的谱峰的材料;
确定该代替是否减小了该误差因子;以及
如果该代替减小了该误差因子,调整该加权因子以反映该代替。
16.如权利要求1所述的方法,进一步包含如果对应于氧的用于第一数据模板的加权因子表明氧以小于百分之十存在的话,则除去对应于氧的第一数据模板。
17.如权利要求16所述的方法,其中如果对应于氧的用于第一数据模板的加权因子表明氧以小于百分之五存在的话,则除去对应于氧的第一数据模板。
18.如权利要求1所述的方法,其中收集未知材料的谱包括收集包括小于50,000个计数的x-射线谱。
19.如权利要求1所述的方法,其中收集未知材料的谱包括收集包括小于3,000个计数的x-射线谱。
20.如权利要求1所述的方法,其中收集未知材料的谱包括收集包括小于10,000个计数的x-射线谱。
21.如权利要求18所述的方法,其中收集未知材料的谱包括收集包括小于1,000个计数的x-射线谱。
22.如权利要求1所述的方法,其中收集未知材料的谱包括在小于100ms内收集来自能量散布x-射线分光计的x-射线谱。
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