[发明专利]一种机器视觉滤光片的制作方法无效
| 申请号： | 201310204282.2 | 申请日： | 2013-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN103278874A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 韩秀峰;朱凯敏 | 申请（专利权）人： | 上海梅轩实业有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;C03C17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201101 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 机器 视觉 滤光 制作方法 | ||
1.一种机器视觉滤光片的制作方法，其特征在于步骤如下：
A、切割：将玻璃基片按照设备的要求尺寸进行切割，其中玻璃基片采用无色玻璃基片；
B、清洗：将切割后的玻璃基片放入纯水中浸泡，并使用超声波进行振荡清洗；
C、干燥：使用风干的方式对清洗后的玻璃基片进行干燥；
D、镀制主膜：将玻璃基片放入镀膜腔室中，将镀膜腔室的真空度抽至0.003Pa，玻璃基片温度预热至320℃后，开启工艺气体和霍尔离子源，采用离子束辅助电子束蒸发镀膜工艺进行主膜的镀制；
E、镀制副膜：镀制好主膜后，使用与步骤D中相同的工艺在玻璃基片的另一面镀制副膜；
F、后处理：使用内圆切割机对镀膜完毕的玻璃基片进行磨边处理。
2.根据权利要求1所述的机器视觉滤光片的制作方法，其特征在于：步骤C中，使用低温大风量吹干的方式进行干燥。
3.根据权利要求1所述的机器视觉滤光片的制作方法，其特征在于：步骤D中，主膜包括非耦合层和耦合层，采用光学膜厚监控法控制非耦合层的膜厚；采用晶体振荡法控制耦合层的膜厚。
4.根据权利要求1所述的机器视觉滤光片的制作方法，其特征在于：步骤E中，采用晶体振荡法控制副膜的膜厚。
5.根据权利要求1所述的机器视觉滤光片的制作方法，其特征在于：在步骤D和步骤E中，使用带有冷却系统的真空测量规管对真空度进行检测。
6.根据权利要求1所述的机器视觉滤光片的制作方法，其特征在于：步骤F中，所述内圆切割机的切割刀的刀厚选择为0.3毫米，采用低温热熔胶将待加工玻璃基片固定在机器衬底上。
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