[发明专利]一种忆阻层及忆阻器有效
申请号: | 201310206768.X | 申请日: | 2013-05-29 |
公开(公告)号: | CN103280526A | 公开(公告)日: | 2013-09-04 |
发明(设计)人: | 刘力锋;后羿;陈冰;高滨;韩德栋;王漪;康晋锋;张兴 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹 |
地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 忆阻层 忆阻器 | ||
1.一种忆阻层,其特征在于,包括主要层和辅助层;
所述辅助层位于所述主要层的上面;
所述主要层的厚度大于所述辅助层的厚度;
所述主要层由具有阻变特性的金属氧化物Ax1Oy1构成;
所述辅助层由金属氧化物Bx2Oy2构成;
其中,x1、x2、y1、y2为与化学价相关的元素比例。
2.如权利要求1所述的忆阻层,其特征在于,所述金属氧化物Ax1Oy1和所述金属氧化物Bx2Oy2的金属元素价态不同。
3.如权利要求1所述的忆阻层,其特征在于,所述金属氧化物Ax1Oy1为HfO2,则所述金属氧化物Bx2Oy2为Al2O3、Gd2O3或Ta2O5。
4.如权利要求1所述的忆阻层,其特征在于,所述金属氧化物Ax1Oy1为Al2O3,则所述金属氧化物Bx2Oy2为Ta2O5、TiO2或NiO。
5.如权利要求1所述的忆阻层,其特征在于,所述金属氧化物Ax1Oy1为氧化锆、氧化镍、氧化钛、氧化锌、氧化钨或氧化铪。
6.如权利要求1所述的忆阻层,其特征在于,所述主要层的厚度大于10nm,辅助层的厚度小于5nm。
7.一种忆阻器,其特征在于,包括底电极层、权利要求1~6任一项所述的忆阻层和顶电极层;
所述顶电极层材料的储氧能力比所述底电极层材料的储氧能力强;
所述底电极层和所述顶电极层用于与外部操作电路进行电连接;
所述忆阻层位于所述底电极层和所述顶电极层之间。
8.如权利要求7所述的忆阻器,其特征在于,所述底电极层的材料为铂、金、镍或重掺杂硅。
9.如权利要求7所述的忆阻器,其特征在于,所述顶电极层的材料为氮化钛、氮钽钛、钛或碲。
10.如权利要求7~9任一项所述的忆阻器,其特征在于,所述忆阻器还包括衬底,所述衬底位于所述底电极层的下面。
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