[发明专利]一种忆阻层及忆阻器有效

专利信息
申请号: 201310206768.X 申请日: 2013-05-29
公开(公告)号: CN103280526A 公开(公告)日: 2013-09-04
发明(设计)人: 刘力锋;后羿;陈冰;高滨;韩德栋;王漪;康晋锋;张兴 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 王莹
地址: 100871*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 忆阻层 忆阻器
【权利要求书】:

1.一种忆阻层,其特征在于,包括主要层和辅助层;

所述辅助层位于所述主要层的上面;

所述主要层的厚度大于所述辅助层的厚度;

所述主要层由具有阻变特性的金属氧化物Ax1Oy1构成;

所述辅助层由金属氧化物Bx2Oy2构成;

其中,x1、x2、y1、y2为与化学价相关的元素比例。

2.如权利要求1所述的忆阻层,其特征在于,所述金属氧化物Ax1Oy1和所述金属氧化物Bx2Oy2的金属元素价态不同。

3.如权利要求1所述的忆阻层,其特征在于,所述金属氧化物Ax1Oy1为HfO2,则所述金属氧化物Bx2Oy2为Al2O3、Gd2O3或Ta2O5

4.如权利要求1所述的忆阻层,其特征在于,所述金属氧化物Ax1Oy1为Al2O3,则所述金属氧化物Bx2Oy2为Ta2O5、TiO2或NiO。

5.如权利要求1所述的忆阻层,其特征在于,所述金属氧化物Ax1Oy1为氧化锆、氧化镍、氧化钛、氧化锌、氧化钨或氧化铪。

6.如权利要求1所述的忆阻层,其特征在于,所述主要层的厚度大于10nm,辅助层的厚度小于5nm。

7.一种忆阻器,其特征在于,包括底电极层、权利要求1~6任一项所述的忆阻层和顶电极层;

所述顶电极层材料的储氧能力比所述底电极层材料的储氧能力强;

所述底电极层和所述顶电极层用于与外部操作电路进行电连接;

所述忆阻层位于所述底电极层和所述顶电极层之间。

8.如权利要求7所述的忆阻器,其特征在于,所述底电极层的材料为铂、金、镍或重掺杂硅。

9.如权利要求7所述的忆阻器,其特征在于,所述顶电极层的材料为氮化钛、氮钽钛、钛或碲。

10.如权利要求7~9任一项所述的忆阻器,其特征在于,所述忆阻器还包括衬底,所述衬底位于所述底电极层的下面。

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