[发明专利]钨海绵基体去铜的方法有效

专利信息
申请号: 201310208189.9 申请日: 2013-05-30
公开(公告)号: CN103627919A 公开(公告)日: 2014-03-12
发明(设计)人: 刘燕文;王小霞;朱虹;张明晨;李玉涛;徐伟;谷兵;陆玉新;方荣 申请(专利权)人: 中国科学院电子学研究所
主分类号: C22C1/08 分类号: C22C1/08;C22C9/00;H01J9/02
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 曹玲柱
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 海绵 基体 方法
【权利要求书】:

1.一种钨海绵基体去铜的方法,其特征在于,包括:

将钨海绵基体放入真空腔内;

将所述真空腔抽真空至5×10-4Pa以上;以及

将所述钨海绵基体加热至1600℃~1900℃之间并保温,使钨海绵基体中的铜蒸发后从钨海绵基体表面溢出蒸发至真空腔内的冷凝器上。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述将钨海绵基体加热并保温的步骤中,保温时间介于30min至2hour之间。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述将钨海绵基体加热并保温的步骤中,真空腔内的真空度不低于5×10-3Pa。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述冷凝器为位于钨海绵基体上方,且不与钨海绵基体接触的金属板,其由冷却水降温。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述将真空腔抽真空的步骤中,将真空腔抽真空至5×10-5Pa以上。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法,其特征在于:

所述将钨海绵基体放入真空加热炉的真空腔内的步骤包括:将所述钨海绵基体放入坩埚内;将所述坩埚和位于其中的钨海绵基体一同放入所述真空加热炉的真空腔内;

所述将钨海绵基体加热至1600℃~1900℃之间并保温的步骤包括:通过加热所述坩埚对所述钨海绵体进行加热。

7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述通过加热坩埚对钨海绵体进行加热的步骤中,采用以下方式其中之一对所述坩埚进行加热:感应加热、电阻丝加热或电子束加热。

8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,所述坩埚为钨、钼材质的金属坩埚;通过感应加热方式对所述坩埚进行加热。

9.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述将钨海绵基体加热至1600℃~1900℃之间并保温的步骤之后还包括:

待所述坩埚和钨海绵基体降至室温后,恢复真空腔至常压,将所述坩埚和钨海绵基体取出。

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