[发明专利]一种光辐射校准装置及方法

权利要求书

1.一种光辐射校准装置，其特征在于，包括：主光路单元、激光辐射稳定系统、真空系统和低温辐射计；

所述主光路单元包括光源、光纤波分复用器和光束整形器，其中，光源包括紫外光源、可见近红外光源和中红外光源，光源输出的光信号经过光纤波分复用器和光束整形器后输入到所述激光辐射稳定系统；

所述激光辐射稳定系统包括第一平移导轨、紫外功率稳定系统、可见功率稳定系统和中红外功率稳定系统；

所述激光辐射稳定系统和真空系统之间设置有空间滤波器；

所述真空系统包括探测器真空仓和预备真空仓，探测器真空仓腔体一端通过第一闸板阀与所述低温辐射计腔体相连，另一端配置有布鲁斯特窗口，预备真空仓腔体通过第二闸板阀与探测器真空仓腔体相连，探测器真空仓与预备真空仓上端都配备观察窗口，所述探测器真空仓与预备真空仓还包括可三维调节的精密位移台和第二平移导轨。

2.如权利要求1所述的光辐射校准装置，其特征在于，所述第二平移导轨为高精度平移导轨。

3.如权利要求2所述的光辐射校准装置，其特征在于，所述精密位移台和第二平移导轨的数量是多个。

4.如权利要求1所述的光辐射校准装置，其特征在于，所述布鲁斯特窗口选用氟化镁光学玻璃。

5.如权利要求1所述的光辐射校准装置，其特征在于，所述低温辐射计为闭环机械制冷低温辐射计。

6.一种光辐射校准方法，其特征在于，通过紫外光源、可见近红外光源和中红外光源输出光谱范围从紫外到中红外的光信号；通过光纤波分复用器对所述紫外光源、可见近红外光源和中红外光源的光路进行调整，将调整后的光信号经光束整形器后输入到激光辐射稳定系统；根据不同的光波段选用紫外功率稳定系统、可见功率稳定系统或中红外功率稳定系统；经过功率稳定的光信号通过空间滤波器到达真空系统与低温辐射计；将待测探测器放置于探测器真空仓的真空腔体中，使被测器件与低温辐射计处于相同的测试环境；待测探测器配置精密位移台和高精度平移导轨，精密位移台可以进行三维调节，使探测器光敏面中心与光束光轴统一；预备真空仓与探测器真空仓通过闸板阀相连接，更换探测器时先将探测器放置在预备真空仓的精密位移台上，然后对预备真空仓抽真空，待真空度达到要求，打开闸板阀，通过高精度平移导轨将待测探测器送入到探测器真空仓中，将已经测量完毕的探测器移出探测器真空仓，送回预备真空仓中。