[发明专利]嵌段共聚物和与其相关的方法

权利要求书

1.一种共聚物组合物，所述共聚物组合物包括：

具有(甲基丙烯酸甲酯)嵌段和聚(甲基丙烯酸(三甲基甲硅烷基)甲酯)嵌段的嵌段共聚物；

其中该嵌段共聚物表现出1-1000kg/mol的数均分子量，M_N；和，

其中该嵌段共聚物表现出1-2的多分散性，PD。

2.权利要求1的共聚物组合物，其中嵌段共聚物表现出10-100nm的薄膜节距，L₀。

3.权利要求1的共聚物组合物，其中嵌段共聚物表现出20-40nm的薄膜节距，L₀。

4.权利要求1的共聚物组合物，其中嵌段共聚物是(甲基丙烯酸甲酯)-b-聚(甲基丙烯酸(三甲基甲硅烷基)甲酯)二嵌段共聚物。

5.权利要求4的共聚物组合物，其中二嵌段共聚物具有0.69-0.83的聚(甲基丙烯酸甲酯)体积分数，Wf_PMMA。

6.权利要求4的共聚物组合物，其中二嵌段共聚物具有0.39-小于0.69的聚(甲基丙烯酸甲酯)体积分数，Wf_PMMA。

7.权利要求4的共聚物组合物，其中二嵌段共聚物具有0.23-小于0.39的聚(甲基丙烯酸甲酯)体积分数，WF_PMMA。

8.权利要求1的共聚物组合物，进一步包含溶剂；其中溶剂选自丙二醇单甲醚醋酸酯(PGMEA)，乙氧基乙基丙酸酯，苯甲醚，乳酸乙酯，2-庚酮，环己酮，醋酸戊酯，γ-丁内酯(GBL)，N-甲基吡咯烷酮(NMP)和甲苯。

9.权利要求1的共聚物组合物，进一步包含添加剂；其中添加剂选自附加的聚合物；表面活性剂；抗氧化剂；光酸产生剂；热酸产生剂；猝灭剂；硬化剂；粘结促进剂；溶解速率改性剂；光固化剂；光敏剂；酸放大剂；增塑剂；取向控制剂和交联剂。

10.一种方法，所述方法包括：

提供基材；

提供权利要求1的共聚物组合物；

应用该共聚物组合物至基材上形成薄膜；

任选地，烘烤薄膜；

退火该薄膜；

处理该退火了的薄膜以从该退火了的薄膜上除去聚(甲基丙烯酸甲酯)和将该退火了的薄膜中的甲基丙烯酸(三甲基甲硅烷基)甲酯转换成SiO_x。