[发明专利]二次加料装置及其加料方法

说明书

技术领域

本发明涉及直拉单晶领域，更具体地，涉及一种二次加料装置及其加料方法。

背景技术

单晶炉的运行工艺过程为清炉——>装料——>抽真空——>熔料——>稳定化——>引晶——>放肩——>等径——>收尾——>停炉，由于石英埚及硅料外形尺寸的特点，一次装料时，因石英埚的容积一定且待加的硅料为固体，一般只能容纳130kg的硅料，难以容纳更多的硅料，限制了单晶炉的投料量，使得单晶炉的生产成本较高。

发明内容

本发明旨在提供一种二次加料装置及其加料方法，以解决现有技术不能对单晶炉进行二次加料造成拉制单晶棒的成本较高的问题。

为解决上述技术问题，根据本发明的一个方面，提供了一种二次加料装置，该二次加料装置包括二次加料器和驱动机构，其中，二次加料器包括连接部和吊装待加物料的吊装部，并且二次加料器可在单晶炉内的石英埚的正上方上下运动；驱动机构包括与二次加料器的连接部连接的连接组件和驱动二次加料器运动的驱动部。

进一步地，吊装部的吊装端设置有第一凹槽，第一凹槽处可拆卸地设置有将待加物料的端部固定在第一凹槽内的第一固定件。

进一步地，连接组件包括伸缩件和与伸缩件连接的连接头，连接部包括卡装连接头的第二凹槽，连接头通过第二固定件卡装在第二凹槽内。

进一步地，二次加料器、第二固定件以及待加物料均由单晶边皮料制成。

进一步地，二次加料装置还包括控制中心，控制中心控制驱动部工作。

进一步地，二次加料装置还包括对装有待加物料的二次加料器进行称重的称重单元，称重单元与控制中心电连接。

根据本发明的另一方面，提供了一种二次加料的方法，该方法利用上述的二次加料装置向石英埚进行加料，包括以下步骤：S2：待石英埚内的物料熔化之后，调节二次加料装置的二次加料器的位置，将二次加料器上的待加物料置入石英埚，向石英埚内进行二次加料。

进一步地，在S2的步骤之前还包括步骤S1：调节二次加料器的位置至一加热位置，对吊装在二次加料器上的待加物料进行预热。

进一步地，S1的步骤中，二次加料器上的待加物料到石英埚的最小距离为40cm至60cm。

进一步地，在S2的步骤之后，还包括步骤S3：待二次加料器上的待加物料熔化至二次加料器的第一凹槽处，调节二次加料器的位置，使二次加料器远离石英埚。

应用本发明的技术方案，二次加料装置包括二次加料器和驱动机构，其中，二次加料器包括连接部和吊装待加物料的吊装部，并且二次加料器可在单晶炉内的石英埚的正上方上下运动；驱动机构包括与二次加料器的连接部连接的连接组件和驱动二次加料器运动的驱动部。根据本发明的二次加料装置，当石英埚内的物料熔化之后，物料之间的间隙被溶液填充，石英埚能装的物料增多，此时，可以利用设置在单晶炉内的石英埚正上方的二次加料器进行二次加料，从而增加了石英埚内的投料量，提高了单晶炉一次拉制出的单晶棒的成产率，降低了企业生产成本。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1示意性示出了本发明中的二次加料装置的结构示意图；以及

图2示意性示出了本发明中的二次加料器的剖视图。

附图标记说明：

10、驱动机构；11、连接组件；111、伸缩件；112、连接头；12、驱动部；20、二次加料器；21、吊装部；22、连接部；211、第一凹槽；212、第一固定件；221、第二固定件；222、第二凹槽；30、控制中心；40、待加物料。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的实施例进行详细说明，但是本发明可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。

术语解释：

单晶炉：是在惰性气体环境中，采用石墨电阻加热器，将硅材料熔化，并采用直拉法生长无位错单晶的设备。

二次加料：是指单晶炉石英埚内硅料经过一次装入融化后再向其内部加入一次硅料。

单晶边皮料：在单晶棒的切割过程中切下的单晶棒边缘部分的的硅料。