[发明专利]一种具有双旋转机构的OLED镀膜机

权利要求书

1.一种具有双旋转机构的OLED镀膜机，包括机架、真空室、多个钼舟、动力系统、钼舟通电加热系统、真空抽气系统、真空室加热系统以及仪表柜，仪表柜中包括双旋转机构转速指示和控制系统、真空抽气系统指示和控制系统、钼舟通电加热指示和控制系统、膜层厚度指示和控制系统、真空室温度指示和控制系统、总电源指示和控制系统；其特征在于：真空室内部配置有双旋转机构，所述双旋转机构由位于真空室内上部的旋转锅形支架和位于真空室中下部的旋转筒形支架组成，所述旋转锅形支架和旋转筒形支架均设置有用于固定被蒸镀工件的机构。

2.根据权利要求1所述的具有双旋转机构的OLED镀膜机，其特征在于：所述的旋转锅形支架上设有支撑臂，支撑臂向下延伸并悬挂所述的旋转筒形支架。

3.根据权利要求2所述的具有双旋转机构的OLED镀膜机，其特征在于：所述的旋转锅形支架上的支撑臂及向下延伸数量为三根，且所述的旋转筒形支架固定在三根延伸支撑臂的下方。

4.根据权利要求1所述的具有双旋转机构的OLED镀膜机，其特征在于：在所述的双旋转机构之一的旋转筒形支架上设置有至少一个气体扰动均化机构总成，所述的气体扰动均化机构包括小圆锥齿轮、轴、轴承座及旋转叶片，小圆锥齿轮、轴承座及旋转叶片均连接在所述的轴上。

5.根据权利要求4所述的具有双旋转机构的OLED镀膜机，其特征在于：所述的至少一个轴承座固定在所述的旋转筒形支架上，且按照圆周角度均布。

6.根据权利要求1所述的具有双旋转机构的OLED镀膜机，其特征在于：在所述真空室中下部沿其内圆周水平设置一大直径的圆锥齿轮。

7.根据权利要求4或5所述的具有双旋转机构的OLED镀膜机，其特征在于：在所述的气体扰动均化机构的小圆锥齿轮与所述的真空室沿其内圆周水平设置的大直径的圆锥齿轮啮合，且在所述的驱动双旋转机构的动力系统的驱动下使旋转筒形支架产生旋转，即所谓“公转”时；上述的齿轮啮合带动气体扰动均化机构总成的轴及固定在轴上的叶片旋转，即所谓“自转”。

8.根据权利要求7所述的具有双旋转机构的OLED镀膜机，其特征在于：改变所述的小圆锥齿轮直径和齿牙数量，在“公转”速度不变的前提下可以减小或增大“自转”速度。

9.根据权利要求8所述的具有双旋转机构的OLED镀膜机，其特征在于：通过在所述的三根下垂延伸臂或旋转筒形支架框架上预制的垂直孔来调整气体扰动均化机构总成设置在旋转筒上的水平高度，以满足气体扰动均化的要求。