[发明专利]抽真空系统有效
| 申请号： | 201310209997.7 | 申请日： | 2013-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN103264204A | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 徐鹏;龚领会;刘辉明;徐冬;李来风;陈杰;高金林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | B23K3/08 | 分类号： | B23K3/08;B23K3/00 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 宋鹰武 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 系统 | ||
1.一种抽真空系统，用于为与其相连的真空热处理器抽真空，所述抽真空系统包括为所述真空热处理器获得真空度的真空泵，其特征在于，所述抽真空系统进一步包括冷阱，所述冷阱设置于所述真空热处理器和所述真空泵之间。
2.如权利要求1所述的抽真空系统，其特征在于，所述真空泵包括获取高真空的扩散泵和获取粗真空的机械泵，所述扩散泵设置于所述冷阱和所述机械泵之间。
3.如权利要求1所述的抽真空系统，其特征在于，所述抽真空系统进一步包括用于连通或关闭所述抽真空系统和所述真空热处理器之间的管路的主抽阀，所述主抽阀设置于所述真空热处理器和所述冷阱之间的管路。
4.如权利要求1所述的抽真空系统，其特征在于，所述抽真空系统进一步包括用于连通或关闭所述冷阱和所述真空泵之间的管路的前级阀，所述前级阀设置于所述冷阱和所述真空泵之间的管路。
5.如权利要求2所述的抽真空系统，其特征在于，所述机械泵为罗茨泵。
6.如权利要求1所述的抽真空系统，其特征在于，所述抽真空系统进一步包括用于加热去除所述冷阱表面凝结物的加热系统，所述加热系统设置于所述冷阱。
7.如权利要求6所述的抽真空系统，其特征在于，所述加热系统包括液氮杜瓦、液氮阀、液氮蒸发器、气体加热器、第一辅助阀及第二辅助阀，所述液氮杜瓦、所述液氮阀、所述液氮蒸发器、所述气体加热器及所述第一辅助阀顺序相连并连接至所述冷阱连接所述真空热处理器的管路，所述第二辅助阀连接至所述冷阱连接所述真空泵的管路。
8.如权利要求6所述的抽真空系统，其特征在于，所述加热系统为直接设置于所述冷阱的电加热器。
9.如权利要求1所述的抽真空系统，其特征在于，所述冷阱和可获得-130℃以下温度的液氮杜瓦或深低温制冷机相连接。
10.如权利要求1所述的抽真空系统，其特征在于，所述真空热处理器为真空钎焊炉。
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