[发明专利]多晶硅铸锭硅固液分离方法及设备

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭硅固液分离方法，其特征在于，包括以下步骤：将硅料在容器内熔化成熔融硅料，拉锭至熔融硅料中硅液的量为10~20%时，采用与容器横截面相配合的压板对熔融硅料施加压力，熔融硅料内部硅液在压力作用下沿容器与压板之间的缝隙被挤压至压板之上；待硅液全部挤压至压板之上，停止对熔融硅料施加压力；压板下方为高纯度铸锭。

2.根据权利要求1所述多晶硅铸锭硅固液分离方法，其特征在于，所述将硅料在容器内熔化成熔融硅料需在惰性气体保护条件下进行。

3.根据权利要求1所述多晶硅铸锭硅固液分离方法，其特征在于，所述拉锭的速度为0.1~2mm/s。

4.根据权利要求1所述多晶硅铸锭硅固液分离方法，其特征在于，所述压板对熔融硅料施加压力时，压板的运动速度为1~26m/min。

5.根据权利要求1所述多晶硅铸锭硅固液分离方法，其特征在于，所述压板为石墨板、陶瓷板或刚玉板。

6.根据权利要求1所述多晶硅铸锭硅固液分离方法，其特征在于，所述压板上涂覆有涂层，所述涂层为氮化硅涂层或碳化硅涂层。

7.根据权利要求2所述多晶硅铸锭硅固液分离方法，其特征在于，所述惰性气体为氩气和/或氦气。

8.一种能实现权利要求1-7任意一项所述多晶硅铸锭硅固液分离方法的设备，其特征在于，该设备包括容器、与容器横截面相配合的压板、抽真空设备、配合设置的炉盖和炉体，所述炉盖和炉体配合后能形成密封的容置空间，所述容置空间与抽真空设备连通，所述炉体下端设置有拉锭设备，所述容器固定在拉锭设备上；所述压板活动设置在容器上方，并与容器的开口相配合，所述压板背离容器的一侧活动固定有压杆。

9.根据权利要求8所述设备，其特征在于，所述压板的面积与容器横截面面积之比为85~99%。

10.根据权利要求8所述设备，其特征在于，所述活动固定为卡槽连接或螺纹连接。