[发明专利]自动化生产线主设备状态的监控方法及监控系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路制造技术领域，尤其涉及一种自动化生产线的主设备状态监控方法及监控系统。

背景技术

通常来说，一条自动化生产线中具有多个主设备，用于完成不同的半导体工艺步骤，而一台主设备又包含多个子设备，用于完成不同的工艺子步骤。因此，子设备的运行状态直接影响到主设备的状态，甚而影响到整个自动化生产线的状态。目前已有的主设备和其子设备的运行状态的控制主要是以对主设备和子设备分别单独加以控制为准则，然而由于主设备和其子设备的状态之间无法建立起与现场实际情况相符的关联性，可能出现违反常理的情况，例如某个主设备的几个子设备处于宕机状态但是该主设备状态还是待命的情况发生。

因此，如何在主设备及其子设备的运行状态之间建立联动是必需要解决的问题。现有技术中的一种方法是以枚举的方式规定一些简单的联动规则，例如所有子设备全宕机时主设备也记为宕机。若判断所有子设备的运行状态符合所列举的多个联动规则中的一个，则可以据此掌握主设备的运行状态。然而这种方法由于表述难度非常大，特别是当子设备数量庞大且设备状态的枚举项也较多时，就无法穷举出所有的子设备运行状态排列组合的种种可能性，因此仍然存在很大的缺陷。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种能够实现自动化生产线中主设备及其子设备运行状态的实时联动，并获得主设备运行状态的实时监控方法及系统。

本发明是通过以下技术方案实现的：

一种自动化生产线的主设备状态监控方法，所述主设备包括多个子设备，所述监控方法包括：

建立状态赋值表，所述状态赋值表设定设备的不同状态与不同数值的一一对应关系；

设定所述主设备状态对应数值与其子设备状态对应数值的映射函数；

获取所述多个子设备的实际状态并赋值为相应的数值；

将所述相应的数值代入所述映射函数并获得计算结果，所述计算结果为所述状态赋值表中的数值；以及

根据所述计算结果及所述状态赋值表获得所述主设备的状态。

优选的，建立状态赋值表的步骤进一步包括：对所述设备的每一状态设定对应的优先级，其中所述设备的不同状态所对应的数值根据所述优先级的大小排序。

优选的，所述映射函数为所述多个子设备状态对应数值之间关系的逻辑表达式。

优选的，所述多个子设备的相互连接状态为串联或并联或混联。

优选的，根据所述多个子设备的相互连接状态及产品在所述多个子设备中的流动规则设定所述映射函数。

进一步的，本发明还提供了一种自动化生产线的主设备状态监控系统，所述主设备包括多个子设备，所述监控系统包括：赋值表建立模块，建立用于记录设备的不同状态与不同数值间一一对应关系的状态赋值表；函数设定模块，设定所述主设备状态对应数值与其子设备状态对应数值的映射函数；子设备状态收集模块，与所述赋值表建立模块相连，收集所述多个子设备的实际状态并赋值为相应的数值；计算模块，与所述函数设定模块及所述子设备状态收集模块相连，将所述相应的数值代入所述映射函数并获得计算结果，所述计算结果记录于所述状态赋值表中；以及主设备状态获取模块，与所述计算模块及所述赋值表建立模块相连，根据所述计算结果及所述状态赋值表获得所述主设备的状态。

优选的，所述赋值表建立模块还包括优先级分配模块，对所述设备的不同状态分配不同的优先级；所述设备的不同状态所对应的数值根据所述优先级的大小排序。

优选的，所述映射函数为所述多个子设备状态对应数值之间关系的逻辑表达式。

优选的，所述多个子设备的相互连接状态为串联或并联或混联。

优选的，所述函数设定模块根据所述多个子设备的相互连接状态及产品在所述多个子设备中的流动规则设定所述映射函数。

本发明的有益效果在于，通过将设备运行状态进行数字化，并将主设备和子设备运行状态的联动规则进行函数映射的方法，能够准确高效地获得主设备的运行状态，并真实地体现自动化生产线的现场情况。

附图说明

图1是本发明一实施例自动化生产线的主设备状态监控方法的流程图；

图2是本发明一实施例自动化生产线的主设备状态监控方法的状态赋值表的示意图；

图3是本发明一实施例自动化生产线的主设备状态监控系统的方块图。

具体实施方式