[发明专利]钨钛靶材的制作方法

权利要求书

1.一种钨钛靶材的制作方法，其特征在于，包括：

将废弃靶材进行机械破碎，形成颗粒，所述废弃靶材为钨钛靶材；

提供用于制作所述靶材的粉末原料；

将所述颗粒及粉末原料混合后放入模具中，进行热压烧结，形成靶材；

热压烧结后，冷却，取出靶材。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述颗粒的直径小于等于5mm。

3.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，将所述颗粒及粉末原料混合之前，还包括以下步骤：清洗所述颗粒。

4.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述钛的质量百分比含量为5%～20%，所述粉末原料为钨粉与钛粉的混合粉末，所述钛粉的质量百分比为5%～20%；

清洗所述颗粒的溶液为双氧水的水溶液和氨水的混合液，其中双氧水的水溶液和氨水的体积比为3～5:1，所述双氧水的水溶液的质量百分比浓度为30%，所述氨水的质量百分比浓度为25%～28%，清洗所述颗粒的时间为20min～40min。

5.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述颗粒及粉末原料的体积比为1:2～5，所述混合的时间为大于等于5小时。

6.根据权利要求4所述的制作方法，其特征在于，将所述颗粒及粉末原料混合后放入模具中，进行热压烧结的步骤包括：

将所述模具放入真空炉内，所述真空炉内设有压头；

对所述真空炉进行抽真空，直至真空炉达到预设真空度；

真空炉达到所述预设真空度之后，对所述真空炉进行加热直至达到所述预设温度，利用所述压头压紧所述颗粒及粉末原料直至达到所述预设压强；

在所述预设温度和所述预设压强下保温保压。

7.根据权利要求6所述的制作方法，其特征在于，所述对真空炉进行加热直至达到所述预设温度，利用所述压头压紧所述颗粒及粉末原料直至达到所述预设压强的步骤包括：

以第一加热速度将所述真空炉加热至第一温度，同时，使所述压头加压至第一压强，然后，进行第一次保温保压；

进行所述第一次保温保压之后，以第二加热速度将所述真空炉加热至所述预设温度，同时使所述压头加压至预设压强，然后，进行第二次保温保压。

8.根据权利要求6所述的制作方法，其特征在于，所述预设真空度小于100Pa，所述预设温度为1100℃～1650℃，所述预设压强为15Mpa～30Mpa，所述保温保压的时间为30min～120min。

9.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于，所述预设真空度小于100Pa，所述预设温度为1100℃～1650℃，所述预设压强为15Mpa～30Mpa，所述第一压强为1Mpa～10Mpa，所述第一加热速度为5℃/min～15℃/min，所述第一温度为1000℃～1100℃，所述第一次保温保压的时间为30min～60min，所述第二加热速度为5℃/min，所述第二次保温保压的时间为30min～120min。