[发明专利]一种室温检测NH3的气体传感器的制作方法无效
| 申请号： | 201310218295.5 | 申请日： | 2013-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN103308560A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 李冬梅;詹爽;梁圣法;陈鑫;谢常青;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 室温 检测 nh sub 气体 传感器 制作方法 | ||
1.一种室温检测NH3的气体传感器的制作方法，其特征在于，包括：
在柔性衬底表面制作金属电极；
制作α-Fe2O3-ZnO敏感膜；以及
将α-Fe2O3-ZnO敏感膜与柔性衬底具有金属电极的表面结合，形成在室温检测NH3的气体传感器。
2.根据权利要求1所述的室温检测NH3的气体传感器的制作方法，其特征在于，所述在柔性衬底表面制作金属电极，包括：
清洗柔性衬底，在该柔性衬底表面涂敷光刻胶，并对该光刻胶进行光刻，刻掉柔性衬底表面用于形成金属电极处的光刻胶，在柔性衬底表面形成电极图形；接着采用电子束蒸发在具有电极图形的柔性衬底上依次沉积Cr膜和Au膜；最后剥离光刻胶及光刻胶上的Cr膜和Au膜，形成表面具有金属电极的柔性衬底。
3.根据权利要求2所述的室温检测NH3的气体传感器的制作方法，其特征在于，所述柔性衬底包括PI、PET或PEN。
4.根据权利要求2所述的室温检测NH3的气体传感器的制作方法，其特征在于，所述在柔性衬底表面涂敷的光刻胶为正胶，包括9920或3220。
5.根据权利要求1所述的室温检测NH3的气体传感器的制作方法，其特征在于，所述制作α-Fe2O3-ZnO敏感膜，包括：
混合工序：将FeSO4·7H2O、CO(NH2)2溶于水，在转速为10-180转/分钟的磁力搅拌下，将上述溶液搅拌3分钟至4小时，得到混合溶液；
反应工序：将得到的混合溶液在0℃至180℃下回流0.5小时至36小时，然后将沉淀物离心、洗涤及干燥，得到α-Fe2O3的前驱体；
煅烧工艺：将得到的α-Fe2O3的前驱体在300℃至1000℃煅烧0.5小时至4小时，并自然冷却到室温；
掺杂工艺：将煅烧后的α-Fe2O3在0℃至100℃分散在一定体积的甲醇溶液中，接着逐滴加入一定体积的摩尔浓度为0-1M的KOH的甲醇溶液，搅拌，制备不同摩尔比掺杂的α-Fe2O3-ZnO溶液；
煅烧工艺：将不同摩尔比掺杂的α-Fe2O3-ZnO溶液通过旋涂、滴涂、浸涂或丝网印刷方式涂覆在SiO2基片上，干燥蒸发掉涂层中的溶剂，在200℃至1000℃煅烧0.5小时至4小时，自然冷却到室温后，得到覆盖于SiO2基片上的α-Fe2O3-ZnO敏感膜；
刻蚀工艺：利用HF酸刻蚀掉α-Fe2O3-ZnO敏感膜下层的SiO2基片，将α-Fe2O3-ZnO敏感膜与SiO2基片分离，得到α-Fe2O3-ZnO敏感膜。
6.根据权利要求5所述的室温检测NH3的气体传感器的制作方法，其特征在于，所述混合工序中是将10mmol FeSO4·7H2O和25mmol CO(NH2)2溶于100ml水中，在室温下搅拌10分钟，得到混合液。
7.根据权利要求5所述的室温检测NH3的气体传感器的制作方法，其特征在于，所述反应工序中是在温度为80℃回流6小时，离心，洗涤并干燥，得到α-Fe2O3的前驱体。
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