[发明专利]硅片切割用钢线及其制备方法

权利要求书

1.一种硅片切割用钢线，包括钢线（1），钢线（1）外表面镀有一层抗氧化层（4），其特征在于：所述钢线（1）外表面设有螺旋形凸起（2）。

2.根据权利要求１所述的硅片切割用钢线，其特征在于所述钢线（1）的直径D为0.1mm-0.15mm，所述螺旋形凸起（2）为矩形螺纹，在钢线轴断面上，矩形螺纹的宽度为0.10mm-0.20mm，螺纹槽根间距为0.05mm-0.08mm，螺纹深度为0.05mm-0.08mm。

3.根据权利要求1或2所述的硅片切割用钢线，其特征在于所述螺旋形凸起（2）上设有小凹槽（3），小凹槽（3）沿螺旋形凸起（2）方向缠绕。

4.根据权利要求3所述的硅片切割用钢线，其特征在于所述小凹槽（3）为三条。

5.根据权利要求4所述的硅片切割用钢线，其特征在于所述小凹槽（3）断面为矩形；所述小凹槽（3）的宽度为0.01mm-0.02mm，深度为0.015mm-0.02mm，相邻小凹槽（3）间的小凸起（5）的宽度为0.03mm-0.04mm。

6.根据权利要求1所述的硅片切割用钢线，其特征在于所述抗氧化层（4）为黄铜合金层，钢线（1）的材质为高碳钢，碳含量为0.75%-0.9%，硫、磷含量小于0.02%。

7.如权利要求1 所述的硅片切割用钢线的制备方法，其特征在于包括下列步骤：1）对盘条表面进行机械除锈处理；2）将上述机械除锈处理后的盘条进行化学表面铁锈处理，再水洗、烘干；3）加热，拉丝，制成半成品钢线；4）热处理消除应力；5）加热，通过定型孔模具，拉丝机进行旋转拉丝，制成切割用钢线；6）对切割用钢线外表面电镀抗氧化层，水洗。

8.根据权利要求7所述的硅片切割用钢线的制备方法，其特征在于所述步骤1）中盘条的材质为高碳钢，碳含量为0.75%-0.9%，硫、磷含量小于0.02%；所述步骤6）中抗氧化层（4）为黄铜合金层；所述步骤5）中定型孔模具为内孔直径与钢线（1）直径相等的圆环（6），圆环（6）的内孔面轴向设有能形成螺旋形凸起（2）的缺口（8）；所述步骤3）是将经过表面处理的盘条在900℃-960℃加热，拉丝机以6-8m/s的拉丝速度，拉制成直径为0.8mm-1.2mm的半成品钢线；所述步骤4）是将半成品钢线放在300℃-400℃恒温箱中，进行5-10分钟热处理消除应力；所述步骤5）是将消除应力的半成品钢线在900℃-960℃加热，拉丝机以8-12m/s的线速度和40-60rad/s 的角速度进行转动，通过定型孔模具，拉制成直径为0.1mm-0.15mm的切割用钢线。

9.根据权利要求8所述的硅片切割用钢线的制备方法，其特征在于所述步骤2）中化学表面铁锈处理，是将经机械除锈处理后的盘条置于H₂SO₄浓度为(200±20)g/L，Fe²⁺浓度为25-50g/L的电解液中， 20℃-45℃下，通入24-36V直流电源，15-30分钟，至盘条表面铁锈处理完毕。

10.根据权利要求8所述的硅片切割用钢线的制备方法，其特征在于所述的缺口(8)的外表面处还设有能形成小凹槽（3）的内凸起（7）。