[发明专利]基板传送装置

权利要求书

1.一种基板传送装置，其中，所述基板传送装置包括：

入口输送机，其包括支撑基板并沿第一方向传送所述基板的第一道及第二道；

基板处理部，从所述入口输送机供应得到所述基板；以及

出口输送机，包括从所述基板处理部传达得到所述基板而传送所述基板的第三道及第四道，

所述第一道至所述第四道分别包括独立地朝与所述第一方向垂直的方向变位的两个传送轨道，

在所述多个传送轨道中相邻接的一对传送轨道构成传送单元而传送所述基板。

2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，包含于所述入口输送机的所述第一道的所述两个传送轨道构成第一传送单元，包含于所述第二道的所述两个传送轨道构成第二传送单元。

3.根据权利要求2所述的基板传送装置，其中，所述入口输送机的幅度与所述基板处理部的幅度相同。

4.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，包含于所述出口输送机的所述第三道的所述两个传送轨道构成第三传送单元，包含于所述第四道的所述两个传送轨道构成第四传送单元。

5.根据权利要求4所述的基板传送装置，其中，所述出口输送机的幅度与所述基板处理部的幅度相同。

6.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述基板处理部包括，第一基板处理输送机，其设置于与所述第一道及第三道对应的位置；第二基板处理输送机，其设置于与所述第二道及第四道对应的位置。

7.根据权利要求6所述的基板传送装置，其中，包含于所述入口输送机的所述第一道的第一传送轨道和与包含于所述第二道的所述第一传送轨道相邻接的第二传送轨道构成第一穿梭单元。

8.根据权利要求7所述的基板传送装置，其中，所述第一穿梭单元移动在所述第一基板处理输送机或所述第二基板处理输送机之间，同时供应所述基板。

9.根据权利要求7所述的基板传送装置，其中，所述入口输送机的幅度宽于所述基板处理部的幅度。

10.根据权利要求6所述的基板传送装置，其中，包含于所述出口输送机的所述第三道的第三传送轨道和与包含于所述第四道的所述第三传送轨道相邻接的第四传送轨道构成第二穿梭单元。

11.根据权利要求10所述的基板传送装置，其中，所述第二穿梭单元移动在所述第一基板处理输送机或所述第二基板处理输送机之间，同时传送得到所述基板。

12.根据权利要求10所述的基板传送装置，其中，所述出口输送机的幅度宽于所述基板处理部的幅度。

13.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述入口输送机进一步包括第一驱动部，其使配置在所述入口输送机的两侧最外围的所述传送轨道朝互相离开的方向移动，从而控制所述入口输送机的幅度。

14.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述出口输送机进一步包括第二驱动部，其使配置在所述出口输送机的两侧最外围的所述传送轨道朝互相离开的方向移动，从而控制所述出口输送机的幅度。