[发明专利]一种用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法无效
申请号: | 201310220511.X | 申请日: | 2013-06-05 |
公开(公告)号: | CN103336027A | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 李冬梅;詹爽;梁圣法;陈鑫;谢常青;刘明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G01N27/00 | 分类号: | G01N27/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 室温 检测 no sub 气体 传感器 制作方法 | ||
1.一种用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法,其特征在于,包括:
在柔性衬底表面制作金属电极;
制作SWCNTs/SnO2敏感膜;以及
将SWCNTs/SnO2敏感膜与柔性衬底具有金属电极的表面结合,形成用于室温检测的NO2气体传感器。
2.根据权利要求1所述的用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法,其特征在于,所述在柔性衬底表面制作金属电极,包括:
清洗柔性衬底,在该柔性衬底表面涂敷光刻胶,并对该光刻胶进行光刻,刻掉柔性衬底表面用于形成金属电极处的光刻胶,在柔性衬底表面形成电极图形;接着采用电子束蒸发在具有电极图形的柔性衬底上依次沉积Cr膜和Au膜;最后剥离光刻胶及光刻胶上的Cr膜和Au膜,形成表面具有金属电极的柔性衬底。
3.根据权利要求2所述的用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法,其特征在于,所述柔性衬底包括PI、PET或PEN。
4.根据权利要求2所述的用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法,其特征在于,所述在柔性衬底表面涂敷的光刻胶为正胶,包括9920或3220。
5.根据权利要求1所述的用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法,其特征在于,所述制作SWCNTs/SnO2敏感膜,包括:
将CO在高压作用下发生歧化反应生成碳纳米管,将该碳纳米管与有机金属溶液2-己基己酸亚锡混合,超声振荡1.5至2.5小时,得到均匀混合的悬浮液;接着通过旋涂、滴涂、浸涂或丝网印刷将该悬浮液涂覆在SiO2基片上,干燥蒸发掉涂层中的溶剂;然后对蒸发掉涂层中溶剂的SiO2基片进行高温煅烧,得到与SiO2基片结合的SWCNTs/SnO2敏感膜;最后利用HF酸刻蚀掉SiO2基片,实现将SWCNTs/SnO2敏感膜与SiO2基片分离,得到SWCNTs/SnO2敏感膜。
6.根据权利要求5所述的用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法,其特征在于,所述对蒸发掉涂层中溶剂的SiO2基片进行高温煅烧,得到与SiO2基片结合的SWCNTs/SnO2敏感膜的步骤中,2-己基己酸亚锡被高温煅烧发生的反应方程式如下:
7.根据权利要求5或6所述的用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法,其特征在于,所述高温煅烧的温度范围为300-1000℃。
8.根据权利要求1所述的用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法,其特征在于,所述将SWCNTs/SnO2敏感膜与柔性衬底具有金属电极的表面结合,形成用于室温检测的NO2气体传感器,包括:
在柔性衬底具有金属电极的表面涂覆一层导电银浆,利用该导电银浆将SWCNTs/SnO2敏感膜与柔性衬底具有金属电极的表面结合起来,形成用于室温检测的NO2气体传感器。
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