[发明专利]一种用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法无效

专利信息
申请号: 201310220511.X 申请日: 2013-06-05
公开(公告)号: CN103336027A 公开(公告)日: 2013-10-02
发明(设计)人: 李冬梅;詹爽;梁圣法;陈鑫;谢常青;刘明 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G01N27/00 分类号: G01N27/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 任岩
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 室温 检测 no sub 气体 传感器 制作方法
【权利要求书】:

1.一种用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法,其特征在于,包括:

在柔性衬底表面制作金属电极;

制作SWCNTs/SnO2敏感膜;以及

将SWCNTs/SnO2敏感膜与柔性衬底具有金属电极的表面结合,形成用于室温检测的NO2气体传感器。

2.根据权利要求1所述的用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法,其特征在于,所述在柔性衬底表面制作金属电极,包括:

清洗柔性衬底,在该柔性衬底表面涂敷光刻胶,并对该光刻胶进行光刻,刻掉柔性衬底表面用于形成金属电极处的光刻胶,在柔性衬底表面形成电极图形;接着采用电子束蒸发在具有电极图形的柔性衬底上依次沉积Cr膜和Au膜;最后剥离光刻胶及光刻胶上的Cr膜和Au膜,形成表面具有金属电极的柔性衬底。

3.根据权利要求2所述的用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法,其特征在于,所述柔性衬底包括PI、PET或PEN。

4.根据权利要求2所述的用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法,其特征在于,所述在柔性衬底表面涂敷的光刻胶为正胶,包括9920或3220。

5.根据权利要求1所述的用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法,其特征在于,所述制作SWCNTs/SnO2敏感膜,包括:

将CO在高压作用下发生歧化反应生成碳纳米管,将该碳纳米管与有机金属溶液2-己基己酸亚锡混合,超声振荡1.5至2.5小时,得到均匀混合的悬浮液;接着通过旋涂、滴涂、浸涂或丝网印刷将该悬浮液涂覆在SiO2基片上,干燥蒸发掉涂层中的溶剂;然后对蒸发掉涂层中溶剂的SiO2基片进行高温煅烧,得到与SiO2基片结合的SWCNTs/SnO2敏感膜;最后利用HF酸刻蚀掉SiO2基片,实现将SWCNTs/SnO2敏感膜与SiO2基片分离,得到SWCNTs/SnO2敏感膜。

6.根据权利要求5所述的用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法,其特征在于,所述对蒸发掉涂层中溶剂的SiO2基片进行高温煅烧,得到与SiO2基片结合的SWCNTs/SnO2敏感膜的步骤中,2-己基己酸亚锡被高温煅烧发生的反应方程式如下:

7.根据权利要求5或6所述的用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法,其特征在于,所述高温煅烧的温度范围为300-1000℃。

8.根据权利要求1所述的用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法,其特征在于,所述将SWCNTs/SnO2敏感膜与柔性衬底具有金属电极的表面结合,形成用于室温检测的NO2气体传感器,包括:

在柔性衬底具有金属电极的表面涂覆一层导电银浆,利用该导电银浆将SWCNTs/SnO2敏感膜与柔性衬底具有金属电极的表面结合起来,形成用于室温检测的NO2气体传感器。

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