[发明专利]真空干燥机

权利要求书

1.真空干燥机，其特征是：包括循环水泵（6）、电磁阀（12）、过滤器（13），所述循环水泵（6）一端设在循环水管线（14）上，另一端设有依次通过气管线连接的水环真空泵（5）、第四罗茨泵（E-4）、第三罗茨泵（E-3）；所述第三罗茨泵（E-3）的另一端通过气管线分别与第一罗茨泵（E-1）和第二罗茨泵（E-2）的出气端相连；所述第一罗茨泵（E-1）和第二罗茨泵（E-2）的进气端通过进气管线与所述过滤器（13）相连，所述电磁阀（12）设在第四罗茨泵（E-4）与水环真空泵（5）之间的气管线上；所述罗茨泵、水环真空泵（5）、循环水泵（6）、电磁阀（12）通过电缆与控制柜连接。

2.根据权利要求1所述的真空干燥机，其特征是：所述第一罗茨泵(E-1)、第二罗茨泵(E-2)、第三罗茨泵(E-3)、第四罗茨泵(E-4)和水环真空泵(5)之间的连接气管线上依次安装有第一波纹管补偿器（7a）、第二波纹管补偿器（7b）、第三波纹管补偿器（7c）和第四波纹管补偿器（7d）。

3.根据权利要求1或2所述的真空干燥机，其特征是：所述第一罗茨泵（E-1）或第二罗茨泵（E-2）的进气管线上安装有气动阀（8）。