[发明专利]一种宽波段硅基探测器光谱响应的通用测试系统无效
| 申请号： | 201310221003.3 | 申请日： | 2013-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN103257037A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 陶春先;何梁;张大伟;卢忠荣;洪瑞金;黄元申 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 波段 探测器 光谱 响应 通用 测试 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种宽波段硅基探测器光谱响应的通用测试系统，其特征在于，包括光源、单色仪、透镜、衰减转轮、CCD驱动板、步进电机平台、暗室、步进驱动器、图像采集卡、工控机、皮安表、标准探测器、滤光片轮，光源与单色仪相连，单色仪进光口放置一套滤波片轮，单色仪出射狭缝后安装一组准直缩束石英透镜，在石英透镜后安装有一套能量衰减转轮，标准探测器和CCD驱动板固定在三维步进电机平台置于暗室中，标准探测器和CCD驱动板分别接收来自单色仪的光信号；步进电机平台使标准探测器与CCD驱动板可横向同轴切换，CCD驱动板的输出接图像采集卡，标准探测器的输出接皮安表相连，图像采集卡和皮安表输出的信号均送入工控机进行处理，工控机输出控制信号到步进驱动器、单色仪、衰减转轮。
2.根据权利要求1所述宽波段硅基探测器光谱响应的通用测试系统，其特征在于，所述光源为氘灯和氙灯两种组合光源或单个激光激励离子发光光源，波长范围190nm～1000nm。
3.根据权利要求1所述宽波段硅基探测器光谱响应的通用测试系统，其特征在于，所述单色仪为多光栅单色仪。
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