[发明专利]一种MEMS反相振动陀螺仪及其制造工艺

权利要求书

1.一种MEMS反相振动陀螺仪，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板以及下盖板；其特征在于，所述测量体为两个，沿垂直方向相对连接，每个所述测量体包括外框架、位于所述外框架内的内框架以及位于所述内框架内的质量块；两个所述测量体之间通过所述外框架相连接；所述外框架与所述内框架之间通过第一弹性梁相连接；所述质量块与所述内框架通过第二弹性梁相连接；所述内框架与所述外框架之间的相对边设置有梳状耦合结构；两个所述质量块在垂直方向上以相反方向振动，所述梳状耦合结构测量旋转角速度。 

2.如权利要求1所述的MEMS反相振动陀螺仪，其特征在于，所述内框架与所述外框架之间设置有多组第一弹性梁；所述第一弹性梁以所述质量块的中线对称设置。 

3.如权利要求1所述的MEMS反相振动陀螺仪，其特征在于，多组所述第一弹性梁设置在所述外框架和所述内框架之间的间隔空间内，并在间隔空间中自由活动。 

4.如权利要求2所述的MEMS反相振动陀螺仪，其特征在于，所述第一弹性梁为U型折叠梁。 

5.如权利要求1所述的MEMS反相振动陀螺仪，其特征在于，所述质量块与所述内框架之间设置有多组第二弹性梁，每组所述第二弹性梁包括两根Y型弹性梁，每根所述Y型弹性梁包括一根主干部以及两根分支部；所述两根分支部分别与所述内框架以及所述质量块相连接。 

6.如权利要求5所述的MEMS反相振动陀螺仪，其特征在于，所述两根Y型弹性梁的主干部分的末端设置在所述内框架的端角处，两末端呈直角相连接。 

7.如权利要求1所述的MEMS反相振动陀螺仪，其特征在于，所述第一弹性梁的厚度大于所述第二弹性梁的厚度。 

8.如权利要求1所述的MEMS反相振动陀螺仪，其特征在于，所述测量体采用包括有上硅层及下硅层的双层硅结构，每层硅层之间分别设置有氧化埋层，所述上硅层的表面形成有外延层。 

9.如权利要求8所述的MEMS反相振动陀螺仪，其特征在于，所述第一弹性梁成型于所述外延层以及所述上硅层；所述第二弹性梁成型于所述外延层。 

10.如权利要求1所述的MEMS反相振动陀螺仪，其特征在于，所述质量块以及所述梳状耦合结构上分别设置有电极。 

11.根据权利要求1所述的MEMS反相振动陀螺仪，其特征在于，所述上盖板及所述下盖板的材料为硅片或玻璃片。