[发明专利]涂布装置的洗边腔室和洗边方法

权利要求书

1.一种涂布装置的洗边腔室，其特征在于，包括：

夹持单元，用于夹持圆筒形掩模板，并使所述圆筒形掩模板倾斜并绕中心轴旋转；

侧边喷头，用于喷吐溶剂，去除圆筒形掩模板表面的两端边缘的光刻胶。

2.如权利要求1所述的涂布装置的洗边腔室，其特征在于，还包括：第一气体喷头，用于喷吐惰性气体，以去除圆筒形掩模板表面两端边缘上残留的溶剂。

3.如权利要求1所述的涂布装置的洗边腔室，其特征在于，还包括：底部喷头，用于喷吐溶剂，去除圆筒形掩模板两侧端面上的光刻胶。

4.如权利要求1所述的涂布装置的洗边腔室，其特征在于，还包括：第二气体喷头，用于喷吐惰性气体，以去除圆筒形掩模板两侧端面上残留的溶剂。

5.如权利要求2或4所述的涂布装置的洗边腔室，其特征在于，所述惰性气体为N₂。

6.如权利要求1所述的涂布装置的洗边腔室，其特征在于，所述夹持单元包括第一驱动单元，用于驱动所述圆筒形掩模板的一端向下倾斜。

7.如权利要求6所述的涂布装置的洗边腔室，其特征在于，所述夹持单元还包括第二驱动单元，用于驱动所述圆筒形掩模板绕中心轴旋转。

8.如权利要求1所述的涂布装置的洗边腔室，其特征在于，所述侧边喷头与第三驱动单元连接，所述第三驱动单元驱动所述侧边喷头靠近或远离圆筒形掩模板的两端边缘表面。

9.如权利要求1所述的涂布装置的洗边腔室，其特征在于，所述圆筒形掩模板为中空的圆柱，圆筒形掩模板的表面包括位于中间的图像区域和位于图像区域两边的非图像区域。

10.一种采用涂布装置的洗边腔室进行洗边的方法，其特征在于，包括：

提供表面涂布有光刻胶的圆筒形掩模板；

夹持单元夹持涂布有光刻胶的圆筒形掩模板，并使圆筒形掩模板的一端向下倾斜；

侧边喷头靠近圆筒形掩模板的一端表面，侧边喷头喷吐溶剂，去除圆筒形掩模板表面的一端边缘的光刻胶，同时圆筒形掩模板绕中心轴旋转；

夹持单元使得圆筒形掩模板的另一端向下倾斜；

侧边喷头靠近圆筒形掩模板的另一端表面，侧边喷头喷吐溶剂，去除圆筒形掩模板表面的另一端边缘的光刻胶，同时圆筒形掩模板绕中心轴旋转。

11.如权利要求10所述的洗边方法，其特征在于，去除圆筒形掩模板表面的两端边缘的光刻胶后，第一气体喷头喷吐惰性气体，以去除圆筒形掩模板表面两端边缘上残留的溶剂。

12.如权利要求10所述的洗边方法，其特征在于，在去除圆筒形掩模板表面的两端边缘的光刻胶的同时，底部喷头喷吐溶剂，去除圆筒形掩模板两侧端面上的光刻胶。

13.如权利要求12所述的洗边方法，其特征在于，去除圆筒形掩模板两侧端面上的光刻胶后，第二气体喷头喷吐惰性气体，以去除圆筒形掩模板两侧端面上残留的溶剂。

14.如权利要求12所述的洗边方法，其特征在于，侧边喷头中溶剂的流量为1～30毫升/分钟，底部喷头中溶剂的流量为1～30毫升/分钟。

15.如权利要求11或13所述的洗边方法，其特征在于，所述第一气体喷头和第二气体喷头中喷吐的惰性气体为N₂。

16.如权利要求10所述的洗边方法，其特征在于，所述圆筒形掩模板的倾斜角度为45度～90度。

17.如权利要求16所述的洗边方法，其特征在于，所述侧边喷头中溶液的喷射方向与圆筒形掩模板表面的夹角为10度～60度。

18.如权利要求10所述的洗边方法，其特征在于，侧边喷头喷吐溶剂，去除圆筒形掩模板表面的两端边缘的光刻胶时，圆筒形掩模板绕中心轴旋转的速度为匀速。