[发明专利]三维贯穿的阳极氧化铝模板的制备方法

权利要求书

1.三维贯穿的阳极氧化铝模板的制备方法，包括下述步骤：

（1）高纯铝片的退火和化学抛光：将纯度99.99%以上的高纯铝片于管式真空炉中500~550摄氏度退火6~12小时后，浸入60~80摄氏度的磷酸与硝酸组成的混酸溶液中，得到表面光亮平整的铝片；

（2）铝片的变压循环氧化处理：用经过步骤（1）处理后的铝片为阳极，以铜片为阴极，于0~3摄氏度0.2~0.4 摩尔/升的草酸电解液中，采用40~85伏特的电压阶段性变压循环处理数次，得多孔阳极氧化铝模板；

（3）双通多孔阳极氧化铝模板的制备：用饱和SnCl₄水溶液将多孔阳极氧化铝模板背面的铝基层溶去，再用磷酸溶液去除位于阳极氧化铝模板背部的阻挡层，得到双通的多孔阳极氧化铝模板；

（4）三维贯穿的阳极氧化铝模板的制备：用磷酸溶液在30~75摄氏度下洗双通，得三维贯穿的阳极氧化铝模板。

2.如权利要求1所述三维贯穿的阳极氧化铝模板的制备方法，其特征在于，步骤（1）退火处理前将高纯铝片放在丙酮和/或乙醇中浸泡12-24小时。

3.如权利要求1所述三维贯穿的阳极氧化铝模板的制备方法，其特征在于，步骤（1）中所述的混酸溶液为质量分数60%~85%的磷酸与质量分数65%~68%浓硝酸以及二次蒸馏水按照体积比8:（0.5~1.5）:（0.5~1.5）配制而成。

4.如权利要求1所述三维贯穿的阳极氧化铝模板的制备方法，其特征在于，步骤（2）所述阶段性变压循环处理为电压先由40伏特开始升压至65~75伏特，然后在65~75伏特下稳定5~10分钟，然后再由65~75伏特升压至80~85伏特，在80~85伏特下稳定1~5分钟。

5.如权利要求4所述三维贯穿的阳极氧化铝模板的制备方法，其特征在于，阶段性变压循环处理的循环次数为20~50次。

6.如权利要求1或4所述三维贯穿的阳极氧化铝模板的制备方法，其特征在于，步骤（3）去除位于阳极氧化铝模板背部的阻挡层，是在60~80摄氏度下，将氧化铝模板的阻挡层朝下，漂浮于质量分数为5%~10%的磷酸溶液中2~5分钟。

7.如权利要求1或4所述三维贯穿的阳极氧化铝模板的制备方法，其特征在于，步骤（4）在30-75摄氏度下，将氧化铝模板放入质量分数5%~10%的磷酸溶液中，反应30~40分钟。